Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

ITME Approvvigiona il Sistema Avanzato della Litografia del Fascio di elettroni di Vistec

Published on April 30, 2012 at 2:50 AM

Da Cameron Chai

L'Istituto di Tecnologia dei Materiali Elettronica (ITME) basato a Varsavia ha comprato lo SB251, un sistema di raggio a forma di variabile dal Fascio di Elettroni di Vistec, un fornitore dei sistemi della litografia del fascio di elettroni.

Il sistema di Vistec SB351

Il Vistec SB251 sarà utilizzato per la ricerca e montaggio dei tipi differenti di elementi a diffrazione e micro-ottici, di materiali novelli e di maschere della litografia ottica. ITME è compreso nella ricerca, nello sviluppo e nella produzione delle unità, dei materiali e delle componenti innovatori per uso nell'optoelettronica, nella micromeccanica e nell'elettronica. L'istituto ha selezionato il sistema con una procedura d'appalto Europea.

Il sistema universale è messo a punto per sia la maschera che fa che diretto scriva le esposizioni. Può trattare ed esporre sia i materiali trasparenti che non trasparenti che sono utilizzati nell'ottica e nelle applicazioni a semiconduttore. Ha una piattaforma dell'esposizione caratterizzare un intervallo di viaggio della fase di 210x210 millimetro, una griglia di indirizzo di 1 nanometro e un'ottica di elettrone da 50 chilovolt. Con queste funzionalità, il sistema può eseguire la litografia in meno di 50 nanometro sui substrati diversi dalle componenti fino ad un massimo di 7" maschere ed i wafer da 200 millimetri.

Le funzionalità completamente automatizzate di manipolazione e dell'interfaccia grafica del substrato del caricatore 35mm--caricatore 35mm del fascio di elettroni del sistema avanzato della litografia gli permettono di essere utilizzate efficacemente in un ambiente multiutente versatile alle organizzazioni come ITME. Inoltre, ha ePLACE, un pacchetto di programmi del preparato di dati.

Secondo Direttore Generale del Fascio di Elettroni di Vistec, Wolfgang Dorl, lo SB251 è versatile ed affidabile, rendendo il sistema adatto a ITME trattare le sue applicazioni presenti e future. Il Direttore di ITME, il Dott. Zygmunt Luczynski ha specificato che il nuovo Vistec SB251 si pensa che svolgesse un ruolo principale nell'ordine del giorno di ricerca e sviluppo di ITME.

Sorgente: http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 30. April 2012 03:54

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit