Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Vistec van Aankopen ITME het Geavanceerde elektron-Straal Systeem van de Lithografie

Published on April 30, 2012 at 2:50 AM

Door Cameron Chai

Het Instituut van de Elektronische Technologie van Materialen (ITME) die in Warshau wordt heeft gebaseerd SB251, een veranderlijke gestalte gegeven gerichte radiotelegrafie van Vistec Elektronenstraal, een leverancier van elektron-straal lithografiesystemen gekocht.

Het Vistec SB351 systeem

Vistec SB251 zal voor onderzoek en vervaardiging van verschillende types van diffractive en micro-optische elementen, nieuwe materialen, en optische lithografiemaskers worden gebruikt. ITME is betrokken bij het onderzoek, de ontwikkeling en de productie van innovatieve apparaten, materialen en componenten voor gebruik in opto-elektronica, micromechanics, en elektronika. Het instituut selecteerde het systeem door een Europese inschrijvingsprocedure.

Het universele systeem wordt voor zowel als direct masker ontwikkeld dat blootstelling maakt schrijven. Het kan zowel transparante als ondoorzichtige materialen behandelen en blootstellen die in optica en halfgeleidertoepassingen worden gebruikt. Het heeft een blootstellingsplatform dat een waaier van de stadiumreis van 210x210 mm, een adresnet van 1 NM, en een 50 kV elektronenoptica kenmerkt. Met deze eigenschappen, kan het systeem lithografie in minder dan 50 NM op verschillende substraten van componenten tot 7“ maskers en 200 mmwafeltjes uitvoeren.

De geavanceerde van het elektron-straal volledig geautomatiseerd lithografiesysteem cassette-aan-cassette substraat behandeling en de grafische gebruikersinterfaceeigenschappen laten dat het toe wordt gebruikt effectief in een veelzijdig milieu voor meerdere gebruikers bij organisaties zoals ITME. Voorts heeft het ePLACE, een de softwarepakket van de gegevensvoorbereiding.

Volgens Vistec De Algemene Manager van de Elektronenstraal, Wolfgang Dorl, is SB251 veelzijdig en betrouwbaar, makend het systeem voor ITME geschikt om zijn huidige en toekomstige toepassingen te behandelen. Directeur van ITME, Dr. Zygmunt Luczynski verklaarde dat nieuwe Vistec SB251 zou moeten een belangrijke rol in de onderzoek en ontwikkelingsagenda van ITME spelen.

Bron: http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 30. April 2012 03:53

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit