Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

ITME Inhandlar Avancerade Vistecs Elektron-Strålar LithographySystemet

Published on April 30, 2012 at 2:50 AM

Vid Cameron Chai

Institutet av Elektronisk MaterialTeknologi (ITME) som baseras i Warsaw, har köpt SB251EN, en formad variabel strålar systemet från den Vistec Elektronen Strålar, en familjeförsörjare av elektron-strålar lithographysystem.

Det Vistec SB351 systemet

Vistecen SB251 ska används för forskning, och fabriceringen av olika typer av diffractive och mikro-optiska beståndsdelar, nya material och optisk lithography maskerar. ITME är involverad i forskningen, utvecklingen och produktionen av innovativa apparater, material och delar för bruk i optoelectronics, micromechanics och elektronik. Institutet som är utvalt systemet till och med ett anbudsgivande tillvägagångssätt för Europé.

Det universella systemet framkallas för både maskerar danande och riktar skriver exponeringar. Det kan behandla och genomskinliga och ogenomskinliga material för blottan både som används i optik och halvledareapplikationer. Det har en exponeringsplattform att presentera en arrangera för att resa spänner av en mm 210x210, ett tilltalaraster av 1 nm och en 50 kV elektronoptik. Med dessa särdrag kan systemet utföra lithography i mer mindre, än 50 nm på olika substrates från delar upp till 7" maskerar och 200 en mmrån.

Det avancerat elektron-strålar lithographysystemets den fullständigt automatiserade kassett-till-kassett substraten som behandlar, och den grafiska användaren har kontakt särdrag möjliggör den som ska används effektivt i en mångsidig multiuser miljö på organisationar lik ITME. Dessutom har det ePLACE, en programvara för dataförberedelse paketerar.

Enligt den Vistec ElektronStrålens General Chef, är Wolfgang Dorl, SB251EN mångsidig och pålitlig, danande systemet som är passande för att ITME ska behandla dess närvarande och framtida applikationer. ITMES Direktör, Dr. Zygmunt Luczynski påstod att den nya Vistecen SB251 förväntas för att leka en ha som huvudämneroll i forskning- och utvecklingsdagordningen av ITME.

Källa: http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 30. April 2012 03:55

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit