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Posted in | Nanofabrication

Petrochemisches Kumho Verbindet SEMATECH Widerstehen Mitte am College von Wissenschaft und von Technik Nanoscale

Published on June 7, 2012 at 3:50 AM

Durch Willen Soutter

Korea-Basierter Hersteller von Fotoresistmaterialien, Kumho-Erdölchemikalie, ist ein Bauteil Photoresists SEMATECHS und des Entwicklungszentrums (RMDC) gelegen an der Universität von Albaniens College von Wissenschaft und von Technik Nanoscale geworden.

SEMANTECH ist ein Konsortium von bedeutenden Halbleiter- und Materialherstellern weltweit. In den letzten 25 Jahren ist die Einteilung in Umwandlungsforschung basierten Innovationen in praktische Lösungen instrumentell gewesen, Fertigung zu aktivieren. Die Arbeit, die durch SEMATECH an RMDC-Zielen erledigt wird, um zu ermöglichen, widerstehen Herstellern, um Materialien für Anwendung bei 22 nm dem Knotenpunkt zu entwickeln. Diese Arbeit wird durch finanzierte Hochschulforschungsprogramme ergänzt. Die Mitte hat auch Berührungsfähigkeiten für extreme ultraviolette (EUV) Materialien. Die Einbeziehung des Teams von Kumho würde die Entwicklung von widersteht und EUV-Materialien für 22 nm-Fähigkeiten beschleunigen.

Die laufende Forschung Kumho-Erdölchemikalie seit 1989 auf dem Gebiet des Photoresists hat die Firma ergeben, die 65 der 106 Patente besitzt, die hoch entwickelte Fotoresisttechnologie in Korea beantragt werden. Chang minimales Kim, Senior-Vizepräsident der Elektronischen Chemischen Unternehmenseinheit bei Kumho befasste sich der mit Arbeit der Firma auf diesem Gebiet in den letzten zehn Jahren, das mit dem ArF-Fotoresist und der nachfolgenden Zunahme der Einnahme auf den Gebieten von FPD-Chemikalien und -halbleiter beginnt. Er erklärte, dass Kumhos Zusammenarbeit mit SEMATECH in seinem EUV-Lithographie-Programm in einer Linie mit dem Lernziel der Firma war, zum an der Spitze der elektronischen materiellen Industrie zu sein. Durch die Mitgliedschaft hat Kumho Zugriff zu den Metrologiehilfsmitteln RMDCS und zu Mikroberührung Hilfsmitteln (METs) abgesehen von Halbleitererfahrung SEMATECHS und Forschungssachkenntnis.

Quelle: http://www.sematech.org

Last Update: 7. June 2012 04:51

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