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石油化學的 Kumho 連接 SEMATECH 在 Nanoscale 科學和工程學院抵抗中心

Published on June 7, 2012 at 3:50 AM

由意志 Soutter

光致抗蝕劑材料基於韓國的製造商, Kumho 石化產品,成為 SEMATECH 的成員抵抗材料和開發中心 (RMDC) 位於 Nanoscale 科學和工程阿爾巴尼的學院大學。

SEMANTECH 是主要半導體和材料製造商財團全世界。 在過去 25 年期間,這個組織是有助的在變換的研究基於創新到實用的解決方法啟用製造。 SEMATECH 完成的這個工作在 RMDC 目標實現抵抗製造商開發應用的材料在 22 毫微米節點。 此工作由被資助的大學研究方案補充。 中心也有極其紫外材料的風險 (EUV)功能。 小組的包括從 Kumho 的將加速發展抵抗和 22 個毫微米功能的 EUV 材料。

Kumho 石化產品的持續的研究自 1989年以來在光致抗蝕劑的域導致擁有 65 106 個專利的公司申請先進的光致抗蝕劑技術在韓國。 萇氏最小的金,電子化工業部件的資深副總裁在 Kumho 的談論了在過去十年開始與 ArF 光致抗蝕劑和隨後的增量的此域的公司的工作在收入在 FPD 化學製品和半導體的域。 他闡明,與 SEMATECH 的 Kumho 的協作在其 EUV 石版印刷程序是與公司的目的成直線是在這個電子物質行業頂部。 除 SEMATECH 的半導體經驗和研究專門技術外,通過這個會員, Kumho 將得以進入對 (METs) RMDC 的計量學工具和微型風險工具的。

來源: http://www.sematech.org

Last Update: 7. June 2012 04:50

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