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Posted in | Nanofabrication

Silikon-Ätzungs-Hilfsmittel Oxford-Instrument-Produkteinführung PlasmaPro Estrelas100

Published on June 19, 2012 at 12:19 PM

Führer in der Plasmaätzung und Verarbeitungssysteme der Absetzung, Oxford-Instrument-Plasma-Technologie, hat eine Ordnung für sein vor kurzem gestartetes Silikon-Ätzungshilfsmittel PlasmaPro Estrelas100 tiefes, von University of Toronto gewonnen, das einem rigorosen Auswahlverfahren folgt.

Die Anlage wurde für das Auftauchende Kommunikationstechnik-Institut (ECTI) im zentralen mikro- der und Nanofabrikationsuniversitätteildienst, dienenden akademischen im Forschung und Entwicklung Bedarf sowie in den Ausbildungsfunktionen gekauft.

Die Silikon-Ätzungstechnologie PlasmaPro Estrelas100 tiefe entbindet die Industrieführende Prozessleistung, und, entwickelt mit dem R&D-Markt im Verstand, bietet die Anlage das entscheidende in der Prozessflexibilität an. Nano-- und Mikrozellen können als die Kleinteile verwirklicht werden ist konstruiert worden mit der Fähigkeit, Bosch™ und cryo Ätzungstechnologien in der gleichen Kammer auszuführen.

Von den glatten Seitenwandprozessen zu den hohen Ätzungskinetik-Kammerätzungen, ist das PlasmaPro Estrelas100 konstruiert worden, um zu garantieren, dass die große Auswahl möglicherweise von MEMS-Anwendungen ohne den Bedarf, die Kammerkleinteile zu ändern erzielt wird.

Kommentar-Professor Yu Sun, Direktor von ECTI, „Dieses hoch entwickelte Hilfsmittel für MEMS und NEMS aktiviert ECTI, aktive interdisziplinäre Forschung zu leiten. Die Kanada-Basis für Innovation (CFI) finanzierte den Kauf und die Beauftragung einer großen Vielfalt der wichtigen Hilfsmittel einschließlich DRIE und anderer Hilfsmittel für die Mitte für Microfluidic-Anlagen in der Chemie und in der Biologie. Wir wählten das PlasmaPro Estrelas100 Oxford-Instrumente auf Gerätenqualität, Leistung und Fähigkeiten sowie die ausgezeichnete Anlagenhalterung, die angeboten wurde durch Oxford-Instrumente.“

Das PlasmaPro Estrelas100 wird für kooperative Forschung mit strategischen Partnern, in den Schlüsselforschungsbereichen, einschließlich Nanotechnologie und Nanofabrikation, photonische Materialien und Einheiten, mikro- und Nano--elektromechanische Anlagen (M/NEMS), Biotechnologie, mikro- und Nano--elektronische Einheiten, integrierte Optik und photo-voltaische Einheiten verwendet.

„Oxford-Instrument-Plasma-Technologie fährt fort, Technologien zur Verfügung zu stellen, die die existierenden und auftauchenden Anwendungen im MEMS-Markt adressieren,“ kommentiert Kennzeichen Vosloo, Oxford-Instrument-Plasma-Technologie-Verkäufe u. aktivieren Vertriebsleiter, „Mit einem breiten Prozess und einem Anwendungseffektenbestand, unsere Technologien viele der Anwendungen, die heute gekennzeichnet werden und der deren von morgen. Mit in 20 Jahren Erfahrung in MEMS R&D verstehen wir den Markt, und sprechen den Bedarf unserer Abnehmer an, sie mit den innovativsten erhältlichen Hilfsmitteln zu versehen.“

Last Update: 19. June 2012 13:19

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