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Posted in | Nanofabrication

Herramienta del Grabado De Pistas del Silicio de PlasmaPro Estrelas100 del Lanzamiento de los Instrumentos de Oxford

Published on June 19, 2012 at 12:19 PM

El Arranque De Cinta en los sistemas de tramitación del grabado de pistas y de la deposición del plasma, Tecnología del Plasma de los Instrumentos de Oxford, ha ganado una pedido para su herramienta profunda recientemente lanzada del grabado de pistas del silicio de PlasmaPro Estrelas100, de la Universidad de Toronto que seguía un proceso de selección riguroso.

El sistema fue comprado para el Instituto Emergente de la Tecnología de las Comunicaciones (ECTI) en el recurso el micro de la Universidad y de la nanofabricación central, las necesidades académicas de servicio de la investigación y desarrollo, así como las funciones de entrenamiento.

La tecnología profunda del grabado de pistas del silicio de PlasmaPro Estrelas100 entrega el funcionamiento de proceso de cabeza de la industria, y, desarrollado con el mercado del R&D en mente, el sistema ofrece el final en adaptabilidad de proceso. Las estructuras Nanas y micras se pueden observar como la dotación física se han diseñado con la capacidad de ejecutar Bosch™ y tecnologías del grabado de pistas del cryo en el mismo compartimiento.

De procesos lisos del flanco a los altos grabados de pistas de la cavidad del tipo del grabado de pistas, el PlasmaPro Estrelas100 se ha diseñado para asegurarse de que la amplia gama de las aplicaciones de MEMS se puede lograr sin la necesidad de cambiar la dotación física del compartimiento.

Profesor Yu Sun, Director de ECTI, “Esta herramienta avanzada para MEMS y NEMS de los Comentarios permitirá a ECTI conducto la investigación interdisciplinaria activa. El Asiento de Canadá para la Innovación (CFI) financió la compra y encargar de una amplia variedad de herramientas importantes incluyendo DRIE y de otras herramientas para el Centro para los Sistemas de Microfluidic en Química y Biología. Elegimos PlasmaPro Estrelas100 de los Instrumentos de Oxford en calidad del equipo, funcionamiento y las capacidades, así como el soporte de sistema excelente ofrecido por los Instrumentos de Oxford.”

El PlasmaPro Estrelas100 será utilizado para la investigación colaborativa con los socios estratégicos, en las áreas de investigación dominantes, incluyendo la nanotecnología y nanofabricación, los materiales y los dispositivos fotónicos, los sistemas micros y nano-electromecánicos (M/NEMS), biotecnología, los dispositivos micros y nano-electrónicos, la óptica integrada, y los dispositivos fotovoltaicos.

“La Tecnología del Plasma de los Instrumentos de Oxford continúa proporcionar a las tecnologías que dirigen aplicaciones existentes y emergentes en el mercado de MEMS,” comenta Marca Vosloo, Ventas de la Tecnología del Plasma de los Instrumentos de Oxford y el Director de Marketing, “Con un proceso y una cartera amplios de la aplicación, nuestras tecnologías activa muchos de las aplicaciones determinadas hoy y de las de mañana. Con durante 20 años de experiencia en el R&D de MEMS entendemos el mercado, y dirigimos las necesidades de nuestros clientes de proveer de ellos las herramientas más innovadoras disponibles.”

Last Update: 19. June 2012 13:20

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