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Posted in | Nanofabrication

Outil Gravure À L'eau Forte de Silicium de PlasmaPro Estrelas100 de Lancement d'Instruments d'Oxford

Published on June 19, 2012 at 12:19 PM

L'Amorce dans des systèmes de traitement gravure à l'eau forte et de dépôt de plasma, Technologie de Plasma d'Instruments d'Oxford, a gagné une commande pour son outil profond récent lancé gravure à l'eau forte de silicium de PlasmaPro Estrelas100, de l'Université de Toronto suivant un choix rigoureux.

Le système a été acheté pour l'Institut Apparaissant de Technologie des Communications (ECTI) dans l'installation centrale micro de l'Université et de nanofabrication, les besoins scolaires servants de recherche et développement, ainsi que les fonctionnements s'exerçants.

La technologie profonde gravure à l'eau forte de silicium de PlasmaPro Estrelas100 fournit la principale performance de processus d'industrie, et, développée avec le marché de R&D de l'esprit, le système offre l'éventuel dans la souplesse de processus. Des structures Nanoes et micro peuvent être réalisées comme matériel a été conçues avec la capacité de faire fonctionner Bosch™ et technologies gravure à l'eau forte de cryo dans la même cavité.

Des procédés sans heurt de flanc gravure à l'eau forte élevées de cavité de tarifs gravure à l'eau forte, le PlasmaPro Estrelas100 a été conçu pour s'assurer que la large gamme d'applications de MEMS peut être réalisée sans nécessité de changer le matériel de cavité.

Professeur Yu Sun, Directeur d'ECTI, « Cet outil avancé pour MEMS et NEMS de Commentaires permettra à ECTI de conduire la recherche interdisciplinaire active. La Fondation du Canada pour l'Innovation (CFI) a financé l'achat et la mise en service d'une grande variété d'outils importants comprenant DRIE et d'autres outils pour le Centre pour des Systèmes de Microfluidic en Chimie et Biologie. Nous avons choisi PlasmaPro Estrelas100 des Instruments d'Oxford sur la qualité de matériel, la performance et les capacités, ainsi que l'excellente assistance technique offerte par des Instruments d'Oxford. »

Le PlasmaPro Estrelas100 sera utilisé pour la recherche de collaboration avec des partenaires stratégiques, dans les champs de recherche principaux, y compris la nanotechnologie et la nanofabrication, les matériaux et les dispositifs photoniques, les systèmes micro et nano-électromécaniques (M/NEMS), la biotechnologie, les dispositifs micro et nano-électroniques, le bloc optique intégré, et les dispositifs photovoltaïques.

« La Technologie de Plasma d'Instruments d'Oxford continue à fournir les technologies qui adressent des applications existantes et apparaissantes sur le marché de MEMS, » commente la Note Vosloo, Ventes de Technologie de Plasma d'Instruments d'Oxford et le Directeur Marketing, « Avec un procédé et un portefeuille grands d'application, nos technologies activent on des applications recensées aujourd'hui et de ceux du demain. Avec sur 20 ans d'expérience de R&D de MEMS nous comprenons le marché, et satisfaisons les besoins de nos abonnées de leur fournir les outils les plus novateurs disponibles. »

Last Update: 19. June 2012 13:19

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