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Posted in | Nanofabrication

Strumento Incissione All'acquaforte del Silicio di PlasmaPro Estrelas100 del Lancio degli Strumenti di Oxford

Published on June 19, 2012 at 12:19 PM

La Guida nei sistemi di trattamento incissione all'acquaforte e del deposito del plasma, la Tecnologia del Plasma degli Strumenti di Oxford, ha estratto un ordine per il suo strumento profondo recentemente lanciato incissione all'acquaforte del silicio di PlasmaPro Estrelas100, dall'Università di Toronto che segue una procedura di selezione rigorosa.

Il sistema è stato approvvigionato per l'Istituto Emergente di Tecnologia delle Comunicazioni (ECTI) nella funzione la micro- dell'Università e di nanofabbricazione centrale, nei bisogni accademici serventi di ricerca e sviluppo come pure nelle funzioni di formazione.

La tecnologia profonda incissione all'acquaforte del silicio di PlasmaPro Estrelas100 consegna la prestazione trattata leader del settore e, sviluppata con il mercato di R & S della mente, il sistema offre l'ultimo nella flessibilità trattata. Le strutture Nane e micro possono essere realizzate come il hardware è stata progettata con la capacità di eseguire Bosch™ e le tecnologie incissione all'acquaforte di cryo nella stessa camera.

Dai trattamenti regolari del muro laterale alte incissione all'acquaforte dell'intercapedine di tariffa incissione all'acquaforte, il PlasmaPro Estrelas100 è stato destinato per assicurare che la vasta gamma delle applicazioni di MEMS potesse essere raggiunta senza la necessità di cambiare il hardware della camera.

Il Professor Yu Sun, Direttore di ECTI, “Questo strumento avanzato per MEMS e NEMS di Osservazioni permetterà a ECTI di condurre la ricerca interdisciplinare attiva. Le Fondamenta del Canada per Innovazione (CFI) hanno costituito un fondo per l'approvvigionamento e l'incarico di un'ampia varietà di strumenti importanti compreso DRIE e di altri strumenti per il Centro per i Sistemi di Microfluidic nella Chimica e nella Biologia. Abbiamo scelto il PlasmaPro Estrelas100 degli Strumenti di Oxford su qualità della strumentazione, la prestazione e le capacità come pure il supporto sistema eccellente offerto dagli Strumenti di Oxford.„

Il PlasmaPro Estrelas100 sarà utilizzato per la ricerca di collaborazione con i partner strategici, nelle aree di ricerca chiave, compresi nanotecnologia e nanofabbricazione, materiali ed unità fotoniche, sistemi micro- e nano-elettromeccanici (M/NEMS), biotecnologia, unità micro- e nano-elettroniche, l'ottica integrata ed unità fotovoltaiche.

“Gli Strumenti di Oxford la Tecnologia del Plasma che continua a fornire le tecnologie che indirizzano le applicazioni esistenti ed emergenti nel servizio di MEMS,„ osservazioni Tracciano Vosloo, Vendite della Tecnologia del Plasma degli Strumenti di Oxford & il Direttore di Marketing, “Con un vasti trattamento e portafoglio dell'applicazione, le nostre tecnologie permette a molti delle applicazioni identificate oggi e di quelle di domani. Con in 20 anni di esperienza di R & S di MEMS capiamo il servizio e rispondiamo alle necessità dei nostri clienti di fornire loro gli strumenti più innovatori disponibili.„

Last Update: 19. June 2012 13:19

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