Posted in | Nanofabrication

옥스포드 계기 발사 PlasmaPro Estrelas100 실리콘 식각 공구

Published on June 19, 2012 at 12:19 PM

플라스마 식각에 있는 지도자와 공술서 처리 시스템, 옥스포드 계기 플라스마 기술은, 준엄한 선택 방법을 따르기 토론토 대학에서 그것의 최근에 발사한 PlasmaPro Estrelas100 깊은 실리콘 식각 공구를 위한 명령을, 이겼습니다.

시스템은 대학의 중앙 마이크로와 nanofabrication 시설, (ECTI) 봉사 학문적인 연구와 개발 필요, 뿐 아니라 교육훈련 기능에 있는 나오는 통신 기술 학회를 위해 구매되었습니다.

PlasmaPro Estrelas100 깊은 실리콘 식각 기술은 마음에 있는 연구 및 개발 시장으로 개발된 기업 주요한 가공 성과를 전달하고, 시스템은 가공 융통성에서 궁극을 제안합니다. Nano와 마이크로 구조물은 동일 약실에 있는 Bosch™ 그리고 cryo 식각 기술을 달리는 기능에 기계설비로 디자인되었습니다 실현될 수 있습니다.

매끄러운 측벽 프로세스에서 높은 식각 비율 구멍 식각에, PlasmaPro Estrelas100는 MEMS 응용의 광범위가 약실 기계설비를 바꾸는 필요 없이 달성될 수 있다는 것을 확인하기 위하여 디자인되었습니다.

Yu 일요일 의 디렉터, "이 향상된 공구 및 MEMS를 위한 ECTI의 NEMS 코멘트 교수는 ECTI를 액티브한 이분야 연구를 하는 가능하게 할 것입니다. 혁신을 위한 캐나다 기초는 (CFI) DRIE를 포함하여 다양한 중요한 공구 및 화학과 생물학에 있는 Microfluidic 시스템을 위한 센터를 위한 그밖 공구의 구입 그리고 위임을 투자했습니다. 우리는 선택했습니다 장비 질에 옥스포드 계기의 PlasmaPro Estrelas100를, 성과 및 기능, 뿐 아니라 옥스포드 계기에 의해 제안된 우수한 시스템 지원."

PlasmaPro Estrelas100는, 나노 과학을 포함하여 중요한 연구 지역에서, 전략 파트너와 가진 협조적인 연구를 위해 및 nanofabrication, photonic 물자 및 장치, 마이크로와 nano 전기 기계 시스템 (M/NEMS), 생물공학, 마이크로와 nano 전자 장치, 통합 광학 및 광전지 장치 사용될 것입니다.

"옥스포드 계기 플라스마 기술,"는 표 Vosloo 의 옥스포드 계기 플라스마 기술 판매 논평합니다 MEMS 시장에 있는 존재 및 나오는 응용을 제시하는 기술을 제공하는 것을 계속합니다 & 넓은 프로세스 및 응용 포트홀리로를 가진 마케팅 디렉터는, ", 우리의 기술 오늘 확인된 응용 및 내일의 그들의 많은 것을 가능하게 합니다. MEMS 연구 및 개발에 있는 경험 20 년으로 이상 우리는 시장을 이해하고, 다룹니다 유효한 혁신적인 공구로 그(것)들에게 제공하는 우리의 고객의 필요를."

Last Update: 19. June 2012 13:19

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