Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Nanofabrication

Het Silicium van PlasmaPro Estrelas100 van de Lancering van de Instrumenten van Oxford Etst Hulpmiddel

Published on June 19, 2012 at 12:19 PM

De Leider in plasma etst en de systemen van de depositoverwerking, de Technologie van het Plasma van de Instrumenten van Oxford, heeft een orde gewonnen want zijn onlangs gelanceerd diep silicium van PlasmaPro Estrelas100 hulpmiddel, van de Universiteit van Toronto na een streng selectieproces etst.

Het systeem werd gekocht voor het Nieuwe Communicatie Instituut van de Technologie (ECTI) in de centrale micro- en de nanofabricatiefaciliteit van de Universiteit, dienende academische onderzoek en ontwikkelingsbehoeften, evenals opleidingsfuncties.

PlasmaPro Estrelas100 het diepe silicium technologie etst levert prestaties van het de industrie de belangrijke proces, en, ontwikkeld met de markt van R&D in mening, biedt het systeem uiteindelijk in procesflexibiliteit aan. Nano en micro- structuren kunnen worden gerealiseerd aangezien de hardware met de capaciteit is ontworpen om Bosch™ in werking te stellen en cryo technologieën in de zelfde kamer etst.

Van vlotte zijwand etsen de processen aan hoogte tariefholte etst, is PlasmaPro Estrelas100 ontworpen om ervoor te zorgen dat de brede waaier van toepassingen MEMS zonder de behoefte kan worden bereikt om de kamerhardware te veranderen.

De Commentaren Professor Yu Sun, Directeur van ECTI, zullen „Dit gevorderde hulpmiddel voor MEMS en NEMS ECTI toelaten om actief interdisciplinair onderzoek te leiden. De Stichting van Canada voor Innovatie (CFI) financierde de aankoop en het opdragen van een grote verscheidenheid van belangrijke hulpmiddelen met inbegrip van DRIE en andere hulpmiddelen voor het Centrum voor Systemen Microfluidic in Chemie en Biologie. Wij kozen PlasmaPro Estrelas100 van de Instrumenten van Oxford op apparatuur kwaliteit, prestaties en mogelijkheden, evenals de uitstekende systeemsteun die door de Instrumenten van Oxford wordt aangeboden.“

PlasmaPro Estrelas100 zal voor samenwerkingsonderzoek met strategische partners, in zeer belangrijke onderzoekgebieden, met inbegrip van nanotechnologie en nanofabricatie, photonic materialen en apparaten, micro en nano-elektromechanische systemen (M/NEMS), biotechnologie, micro en nano-elektronische apparaten, geïntegreerde optica, en photovoltaic apparaten worden gebruikt.

„De Technologie van het Plasma van de Instrumenten van Oxford blijft technologieën verstrekken die bestaande en nieuwe toepassingen in de markt MEMS richten,“ becommentarieert Teken Vosloo, de Verkoop van de Technologie van het Plasma van de Instrumenten van Oxford & laat de Op De Markt Brengende Directeur, „Met een brede proces en toepassingsportefeuille, onze technologieën veel van de vandaag geïdentificeerde toepassingen en die van morgen toe. Met meer dan 20 jaar ervarings in MEMS R&D begrijpen wij de markt, en zijn gericht op de behoeften van onze klanten om hen van de meest innovatieve beschikbare hulpmiddelen te voorzien.“

Last Update: 19. June 2012 13:19

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit