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Sistema de la Fuente del Lanzamiento de Picosun Nuevo para Extremadamente - la Presión de Vapor inferior y los Precursores Sensibles Al Calor de ALD

Published on June 20, 2012 at 8:40 PM

Picosun Oy, Finlandia-Basado, fabricante global operatorio de sistemas Atómicos avanzados de la Deposición (ALD) de la Capa, ha puesto en marcha su nueva fuente heated y reforzada Picohot llamado sistema 300.

Picohot 300 se ha diseñado específicamente para los sistemas de la producción-escala ALD de las P-Series de PICOSUN. Tiene superficie muy grande para la vaporización del precursor, dos válvulas neumáticas de tres vías controladas por ordenador para pulsar y ella pueden alcanzar la temperatura máxima de las tuberías De Temperatura Controlada 300°C. concluyen la vaporización y la salida eficientes del precursor. El volumen máximo de precursor que se puede llenar en la fuente es 300 ml, que asegura los tiempos extendidos de la operación de la herramienta de ALD sin la necesidad de parar el proceso para rellenar el vaso de la fuente del precursor.

Los resultados Muy buenos de la deposición se han obtenido con el sistema de la fuente de Picohot 300 en procesos de tratamiento por lotes. Por ejemplo, porque falta de uniformidad del dentro-fulminante 1ó del proceso de tratamiento por lotes del óxido del tantalio (con ethoxide y agua del tantalio (i) como precursores) del 3.2% y falta de uniformidad del fulminante-a-fulminante 1ó del 3.9% se han obtenido.

Los “sistemas de envío Eficientes del precursor son cruciales para los procesos industriales de la calidad ALD de la producción segura, repetible, alta. Hay varios precursores de ALD que son evaporación muy sensible al calor y necesidad en como bajas temperaturas como posible evitar reacciones secundarias indeseadas tales como descomposición, polimerización o condensación entre las moléculas del precursor. Picohot 300 se diseña para vencer los retos con los precursores de extremadamente - sensibilidad inferior de la volatilidad y/o de temperatura. Somos felices de introducir el producto a nuestros clientes en la acción más importante de ALD del año, la conferencia internacional de ALD que ocurre en el momento en el corazón de la industria fabril de IC de Europa, en Dresden, Alemania, los” estados Juhana Kostamo, Director de Gerente de Picosun.

Sobre Picosun

Picosun Oy es fabricante operatorio Finlandés, mundial de sistemas avanzados de ALD, representando continuidad a casi cuatro décadas de promoción, diseño exclusivo del reactor de ALD y la fabricación. Las comandancias globales de Picosun están situadas en Espoo, Finlandia, sus instalaciones de producción en Kirkkonummi, sus los E.E.U.U. comandancias de Finlandia, en Detroit, Michigan, y sus comandancias Asiáticas en Singapur. Hoy, las herramientas de PICOSUN ALD están en la producción contínua y el uso del R&D en industrias de la frente y organizaciones de investigación numerosas a través de cuatro continentes.

Last Update: 20. June 2012 21:26

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