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Système Neuf de Source de Lancement de Picosun pour Extrêmement - la Pression de Vapeur faible et les Précurseurs Sensibles À La Chaleur d'ALD

Published on June 20, 2012 at 8:40 PM

Picosun Oy, Finlande-Basé, constructeur mondial de fonctionnement des systèmes Atomiques de pointe de Dépôt (ALD) de Couche, a lancé son système passionné et amplifié neuf Picohot 300 appelé de source.

Picohot 300 a été conçu particulièrement pour des systèmes de la production-échelle ALD de P-Suite de PICOSUN. Il a la surface très grande pour la vaporisation de précurseur, deux soupapes pneumatiques à trois voies commandées par ordinateur pour palpiter et elle peuvent atteindre la température maximale des conduits 300°C. À Température Contrôlée mènent la vaporisation et l'accouchement efficaces du précurseur. Le volume maximum du précurseur qui peut être versé dans la source est de 300 ml, qui assure des temps étendus de fonctionnement de l'outil d'ALD sans nécessité d'arrêter le procédé pour remplir le récipient de source de précurseur.

Des résultats Très bons de dépôt ont été obtenus avec le système de source de Picohot 300 dans des traitements par lots. Par exemple, parce que irrégularité du dans-disque 1ó de traitement par lots d'oxyde de tantale (avec de l'eau l'ethoxide et de tantale (i) comme précurseurs) de 3.2 % et irrégularité du disque-à-disque 1ó de 3.9 % ont été obtenus.

« Les systèmes de distribution Efficaces de précurseur sont essentiels pour des procédés industriels de la qualité ALD de débit fiable, reproductible, élevé. Il y a plusieurs précurseurs d'ALD qui sont évaporation très sensible à la chaleur et du besoin à en tant que basses températures en tant que possible d'éviter des réactions secondaires non désirées telles que la décomposition, la polymérisation ou la condensation entre les molécules de précurseur. Picohot 300 est conçu pour surmonter les défis avec des précurseurs d'extrêmement - sensibilité faible de volatilité et/ou de température. Nous sommes heureux d'introduire le produit à nos abonnées dans l'événement d'ALD le plus important de l'année, la conférence internationale d'ALD ayant lieu à l'heure actuelle au coeur de l'industrie de l'IC de l'Europe, à Dresde, l'Allemagne, des » conditions Juhana Kostamo, Directeur Général de Picosun.

Au Sujet de Picosun

Picosun Oy est constructeur de fonctionnement Finlandais et mondial des systèmes de pointe d'ALD, représentant la continuité à presque quatre décennies du lancement, le design exclusif de réacteur d'ALD et la fabrication. Les sièges sociaux globaux de Picosun sont situés dans Espoo, Finlande, ses installations productives dans Kirkkonummi, ses USA sièges sociaux de la Finlande, à Detroit, au Michigan, et ses sièges sociaux Asiatiques à Singapour. Aujourd'hui, les outils de PICOSUN ALD sont dans la production continue et l'utilisation de R&D dans de nombreuses industries et organisations pour la recherche de ligne du front en travers de quatre continents.

Last Update: 20. June 2012 21:25

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