Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
Posted in | Nanomaterials

Van de Bron Lancering van Picosun Nieuw Systeem voor Uiterst - de lage Druk van de Damp en Warmtegevoelige Voorlopers ALD

Published on June 20, 2012 at 8:40 PM

Picosun de van in Finland-Gebaseerde, globaal werkende fabrikant Oy, van systemen van het Deposito van de overzichts de Atoom (ALD)Laag, heeft zijn nieuwe verwarmde en opgevoerde bron systeem geroepen Picohot 300 gelanceerd.

Picohot 300 is ontworpen specifiek voor p-Reeksen PICOSUN productie-schaal ALD systemen. Het heeft zeer grote oppervlakte voor voorloperverdamping, twee computergestuurde pneumatische kleppen met drie richtingen voor het pulseren en het kan de maximumtemperatuur van 300°C. bereiken Temperature-controlled buizen efficiënte verdamping en levering van de voorloper beëindigen. Het maximumvolume van voorloper dat in de bron kan worden gevuld is 300 ml, wat uitgebreide verrichtingstijden van het hulpmiddel ALD zonder de behoefte om het proces tegen te houden verzekert om het voorloper bronschip opnieuw te vullen.

De Zeer goede depositoresultaten zijn verkregen met Picohot 300 bronsysteem in partijprocessen. Bijvoorbeeld, voor van het de partijproces van het tantalium het binnen-wafeltje1ó niet-uniformiteit oxyde (met tantalium(i) ethoxide en water als voorlopers) van 3.2% en wafeltje-aan-wafeltje 1ó de niet-uniformiteit van 3.9% is verkregen.

De „Efficiënte systemen van de voorloperlevering zijn essentieel voor de betrouwbare, herhaalbare, hoge processen van de productie industriële kwaliteit ALD. Er zijn verscheidene voorlopers ALD die zeer warmtegevoelige en behoefteverdamping bij als lage temperaturen mogelijk zijn om ongewenste zijreacties te vermijden zoals decompositie, polymerisatie of condensatie tussen de voorlopermolecules. Picohot 300 wordt ontworpen om de uitdagingen met voorlopers van uiterst te overwinnen - lage vluchtigheid en/of temperatuurgevoeligheid. Wij zijn gelukkig om het product aan onze klanten in de belangrijkste gebeurtenis ALD van het jaar, de internationale conferentie ALD die op het ogenblik in het hart van de verwerkende industrie van IC van Europa plaatsvindt, in Dresden, Duitsland te introduceren,“ staten Juhana Kostamo, Leidende Directeur van Picosun.

Ongeveer Picosun

Picosun Oy is Finse, wereldwijd werkende fabrikant van overzichtsALD systemen, die continuïteit vertegenwoordigen aan bijna vier decennia van de weg bereidend, exclusief ALD reactorontwerp en productie. Wordt het globale hoofdkwartier van Picosun gevestigd in Espoo, Finland, zijn productiefaciliteiten in Kirkkonummi, zijn de V.S. hoofdkwartier van Finland, in Detroit, Michigan, en zijn Aziatisch hoofdkwartier in Singapore. Vandaag, zijn de hulpmiddelen PICOSUN ALD in ononderbroken productie en het gebruik van R&D in de talrijke frontlinieindustrieën en onderzoekorganisaties over vier continenten.

Last Update: 20. June 2012 21:25

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit