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Posted in | Nanomaterials

Sistema Novo de Source do Lançamento de Picosun para Extremamente - baixos Pressão e Calor de Vapor - Precursores sensíveis de ALD

Published on June 20, 2012 at 8:40 PM

Picosun Oy, Finlandia-Baseado, fabricante global de funcionamento de sistemas Atômicos avançados do Depósito (ALD) da Camada, lançou sua fonte caloroso e impulsionada nova Picohot chamado sistema 300.

Picohot 300 foi projectado especificamente para sistemas da produção-escala ALD das P-Séries de PICOSUN. Tem a área de superfície muito grande para a vaporização do precursor, duas válvulas pneumáticas tripartidos controladas por computador para pulsar e ela podem alcançar a temperatura máxima das canalizações 300°C. Temperatura-Controladas finalizam a vaporização e a entrega eficientes do precursor. O volume máximo de precursor que pode ser enchido na fonte é 300 ml, que assegura tempos prolongados da operação da ferramenta de ALD sem a necessidade de parar o processo para reencher a embarcação da fonte do precursor.

Os resultados Muito bons do depósito foram obtidos com o sistema da fonte de Picohot 300 em processos de grupo. Por exemplo, porque uma não uniformidade da dentro-bolacha 1ó do processo de grupo do óxido do tântalo (com o ethoxide e a água do tântalo (i) como precursores) de 3.2% e uma não uniformidade da bolacha-à-bolacha 1ó de 3.9% foram obtidos.

“Os sistemas de entrega Eficientes do precursor são cruciais para processos industriais da qualidade ALD da produção segura, repetível, alta. Há diversos precursores de ALD que são muito calor - sensível e evaporação da necessidade como em baixas temperaturas como possível evitar reacções laterais indesejadas tais como a decomposição, polimerização ou condensação entre as moléculas do precursor. Picohot 300 é projectado superar os desafios com os precursores de extremamente - baixa sensibilidade da volatilidade e/ou de temperatura. Nós estamos felizes introduzir o produto a nossos clientes no evento o mais importante de ALD do ano, a conferência internacional de ALD que ocorre neste momento no coração da indústria de transformação do IC de Europa, em Dresden, Alemanha,” estados Juhana Kostamo, Director Administrativo de Picosun.

Sobre Picosun

Picosun Oy é fabricante de funcionamento Finlandês, mundial de sistemas avançados de ALD, representando a continuidade a quase quatro décadas da abertura de caminhos, o projecto exclusivo do reactor de ALD e a fabricação. As matrizes globais de Picosun são situadas em Espoo, Finlandia, suas instalações de produção em Kirkkonummi, suas E.U. matrizes de Finlandia, em Detroit, em Michigan, e em suas matrizes Asiáticas em Singapura. Hoje, as ferramentas de PICOSUN ALD estão na produção contínua e no uso do R&D em indústrias e em organizações de investigação numerosas da linha da frente através de quatro continentes.

Last Update: 20. June 2012 21:26

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