Posted in | Nanomaterials

Система Источника Старта Picosun Новая для Весьма - низкого Давления Пара и Теплочувствительных Прекурсоров ALD

Published on June 20, 2012 at 8:40 PM

Picosun Финляндия-Основанное Oy, глобально работая изготовление современных Атомных систем Низложения (ALD) Слоя, запускало свой новый heated и форсированный источник Picohot вызванное системой 300.

Picohot 300 было конструировано специфически для систем продукци-маштаба ALD P-Серий PICOSUN. Оно имеет очень большую поверхностную зону для испарения прекурсора, 2 компьютер-контролировали трехсторонние пневматические клапаны для пульсировать и оно может достигнуть максимальную температуру проводников Температур-Контролируемых 300°C. уточняет эффективные испарение и поставку прекурсора. Максимальный том прекурсора который можно заполнить в источник 300 ml, который обеспечивает выдвинутые времена деятельности инструмента ALD без потребности остановить процесс для re-заполнять сосуд источника прекурсора.

Очень хорошие результаты низложения были получены с системой источника Picohot 300 в обработках партиями. Например, ибо non-единообразие в пределах-вафли 1ó обработки партиями окиси тантала (с ethoxide и водой тантала (I) как прекурсоры) 3.2% и non-единообразие вафл-к-вафли 1ó 3.9% получите.

«Эффективные средства доставки прекурсора критические для процессов качества ALD надежного, repeatable, высокого объём промышленных. Несколько прекурсоров ALD которые испарение очень теплочувствительных и потребности на как низких температурах как возможное для того чтобы во избежание нежелательные бортовые реакции как разложение, полимерность или конденсация между молекулами прекурсора. Picohot 300 конструировано для того чтобы отжать возможности с прекурсорами весьма - низкая чувствительность улетучиваемости и/или температуры. Мы счастливы ввести продукт к нашим клиентам в самом важном случае ALD года, международного конференции ALD осуществляя в настоящее время в сердце обрабатывающей промышленности IC Европы, в Дрездене, Германия,» положения Juhana Kostamo, Управляющий Директор Picosun.

О Picosun

Picosun Oy Финское, всемирное работая изготовление современных систем ALD, представляющ непрерывность до почти 4 декады pioneering, исключительную конструкцию реактора ALD и изготовлять. Штабы Picosun глобальные расположены в Espoo, Финляндии, своих производственных объектах в Kirkkonummi, своих США штабах Финляндии, в Детройте, Мичигане, и своих Азиатских штабах в Сингапуре. Сегодня, инструменты PICOSUN ALD в непрерывном производстве и пользе R&D в многочисленних индустриях центрфорварда и научно-исследовательских организачиях через 4 материка.

Last Update: 20. June 2012 21:26

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit