Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
Posted in | Nanomaterials

System för Källa för Picosun Barkass Nytt för Extremt - den låga Dunsten Pressar och Värmer - känsliga ALD-Precursors

Published on June 20, 2012 at 8:40 PM

Picosun Oy som Finland-Baseras, fungerande den globalt producenten av system för statlig-av--konst Atom- Lagrar (ALD)Avlagring, har lanserat dess nya upphettade och ökade källa systemet kallade Picohot 300.

Picohot 300 har planlagts specifikt för PICOSUN-P-Serier produktion-fjäll ALD system. Den har mycket stort att ytbehandla område för precursorvaporization, dator-kontrollerade två trevägspneumatiska ventiler för att pulsera, och den kan ne maximat temperatur av 300°C. Temperatur-Kontrollerade trummor slutför den effektiva vaporization och leveransen av precursoren. Maximat volym av precursoren, som kan fyllas in i källan, är 300 ml, som ser till, den fördjupade funktionen som tider av ALDEN bearbetar utan behovet att stoppa det processaa för påfyllning av precursorkällskytteln.

Mycket bra avlagringresultat har erhållits med det Picohot 300 källsystemet grupperar in bearbetar. Till exempel for tantalumoxiden gruppera processaa (med ethoxide för tantalum (I) och bevattna som precursors), inom-rånet 1ó olikformighet av 3.2%, och rån-till-rån 1ó olikformighet av 3.9% har erhållits.

”Är Effektiva precursorleveranssystem avgörande för pålitligt, repeatable, kickgenomgång som industriell kvalitets- ALD bearbetar. Det finns flera ALD-precursors, som är värmer mycket - känslig och behovsavdunstning på som låga temperaturer som möjligheten som undviker undesired sidoreaktioner liksom upplösning, polymerisation eller kondensation mellan precursormolekylarna. Picohot 300 planläggs till betaget utmaningarna med precursors av extremt - den låga flyktighet och/eller temperaturkänsligheten. Vi är lyckliga att introducera produkten till våra kunder i den viktigaste ALD-händelsen av året, konferensen för landskampen som ALD äger rum på ögonblicket i hjärtan av Europa fabriks- bransch för IC, i Dresden, Tysklandet,” påstår Juhana Kostamo, Disponent av Picosun.

Om Picosun

Picosun Oy är den Finlandssvensk, värld-sned boll fungerande producenten av statlig-av--konst ALD system som föreställer kontinuitet till nästan fyra årtionden av att bana väg för, reaktordesign för artikel med ensamrätt ALD och fabriks-. Picosuns lokaliseras globala högkvarter i Espoo, Finland, dess produktionlättheter i Kirkkonummi, Finland, dess US högkvarter i Detroit, Michigan och dess Asiatiska högkvarter i Singapore. I Dag bearbetar PICOSUN ALD är i fortlöpande produktion och R&D-bruk i talrika framkantbranscher och forskar organisationar över fyra kontinentar.

Last Update: 20. June 2012 21:26

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit