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极低的汽压和热敏感 ALD 前体的 Picosun 生成新的来源系统

Published on June 20, 2012 at 8:40 PM

Picosun Oy,基于芬兰,科技目前进步水平基本层证言系统全球性地运行的制造商 (ALD),生成了其新的激昂和被提高的来源系统叫的 Picohot 300。

Picohot 300 为 PICOSUN P 串联生产缩放比例 ALD 系统特别地设计。 它有非常前体汽化的大表面,搏动和它的二个计算机控制的三通的气动阀可能到达最高温度 300°C. 温度控制的输送管道完成这个前体的高效的汽化和发运。 可以被装载到这个来源前体的最大体积是 300 ml,保证 ALD 工具的延长的运算时间,不用需要终止重新装满的前体来源船进程。

非常好证言结果在批处理中得到了与 Picohot 300 来源系统。 例如,为了钽氧化物批处理 (用钽 (i) ethoxide 和水作为前体) 在内薄酥饼 1ó 不一致 3.2% 和薄酥饼对薄酥饼 1ó 不一致 3.9% 获得了。

“高效的前体送货系统为可靠,可重复,高处理量行业质量 ALD 进程是关键的。 有是非常热敏感和需要蒸发在作为低温作为可能避免不期望的副反应例如分解、聚化或者结露在前体分子之间的几个 ALD 前体。 Picohot 300 被设计解决与极低的变更率和温度敏感性前体的挑战。 我们是愉快介绍这个产品给我们的年,当时进行在欧洲的集成电路制造工业的重点的国际 ALD 会议的最重要的 ALD 活动的客户,在德累斯顿,德国”,状态 Juhana Kostamo, Picosun 的总经理。

关于 Picosun

Picosun Oy 是科技目前进步水平 ALD 系统芬兰,全世界运行的制造商,几乎表示连续性对四十年作早期工作在,独有的 ALD 反应器设计和制造。 Picosun 的全球总部位于 Espoo,芬兰,其生产设施在 Kirkkonummi,芬兰,其美国总部在底特律、密执安和其亚洲总部在新加坡。 今天, PICOSUN ALD 工具在持续生产和 R&D 使用在许多前线行业和研究组织在四个大陆间。

Last Update: 20. June 2012 21:24

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