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極低的汽壓和熱敏感 ALD 前體的 Picosun 生成新的來源系統

Published on June 20, 2012 at 8:40 PM

Picosun Oy,基於芬蘭,科技目前進步水平基本層證言系統全球性地運行的製造商 (ALD),生成了其新的激昂和被提高的來源系統叫的 Picohot 300。

Picohot 300 為 PICOSUN P 串聯生產縮放比例 ALD 系統特別地設計。 它有非常前體汽化的大表面,搏動和它的二個計算機控制的三通的氣動閥可能到達最高溫度 300°C. 溫度控制的輸送管道完成這個前體的高效的汽化和發運。 可以被裝載到這個來源前體的最大體積是 300 ml,保證 ALD 工具的延長的運算時間,不用需要終止重新裝滿的前體來源船進程。

非常好證言結果在批處理中得到了與 Picohot 300 來源系統。 例如,為了鉭氧化物批處理 (用鉭 (i) ethoxide 和水作為前體) 在內薄酥餅 1ó 不一致 3.2% 和薄酥餅對薄酥餅 1ó 不一致 3.9% 獲得了。

「高效的前體送貨系統為可靠,可重複,高處理量行業質量 ALD 進程是關鍵的。 有是非常熱敏感和需要蒸發在作為低溫作為可能避免不期望的副反應例如分解、聚化或者結露在前體分子之間的幾個 ALD 前體。 Picohot 300 被設計解決與極低的變更率和溫度敏感性前體的挑戰。 我們是愉快介紹這個產品給我們的年,當時進行在歐洲的集成電路製造工業的重點的國際 ALD 會議的最重要的 ALD 活動的客戶,在德累斯頓,德國」,狀態 Juhana Kostamo, Picosun 的總經理。

關於 Picosun

Picosun Oy 是科技目前進步水平 ALD 系統芬蘭,全世界運行的製造商,幾乎表示連續性對四十年作早期工作在,獨有的 ALD 反應器設計和製造。 Picosun 的全球總部位於 Espoo,芬蘭,其生產設施在 Kirkkonummi,芬蘭,其美國總部在底特律、密執安和其亞洲總部在新加坡。 今天, PICOSUN ALD 工具在持續生產和 R&D 使用在許多前線行業和研究組織在四個大陸間。

Last Update: 20. June 2012 21:24

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