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KLA-Tencor Stellt Neue Konfiguration von Plattform Surfscan SP3 mit 450mm Fähigkeit vor

Published on July 11, 2012 at 3:57 AM

Durch Willen Soutter

Prozesskontrollierte und Ertragsmanagementlösungen Anbieter, KLA-Tencor Corporation hat die erste seiner neuen Reichweite der prozesskontrollierten Anlagen für 450 mm-Wafers eingebaut. Das Hilfsmittel ist der späteste Zusatz zur Plattform Surfscan SP3 und wird als Surfscan SP3 450 beschriftet.

SP3 Surfscan

Die nicht-kopierte Waferprüfungsanlage wird vollständig automatisiert und ist zum Befolgen die zwingenden Oberflächenbeschaffenheits- und Fehlerkontrolleanforderungen von 20 nm-Knotenpunktprozessen völlig fähig. Die Anlage bietet folglich beträchtliche Regelung über 450 mm Silikon und Epitaxial- Silikonsubstratflächenfertigung an. Das SP3 450 kann aufwärts in der Fertigung von den Hilfsmitteln auch eingesetzt werden, die in 450 mm-Prozess wie Filmabsetzungshilfsmitteln, CMP-Auflagen, nasse saubere Hilfsmittel, Vergütungsanlagen und Schlämme und Poliermittel verwendet werden.

Hans Lebon, Fälschungsmanager im Löwen-nanoelectronics Forschungszentrum, imec, erklärte, dass das SP3 450 ein dringend benötigtes Hilfsmittel für den Übergang der Industrie zu 450 mm ist und imec helfen würde, wenn es Ausglühenpunkte abgesehen von dem Überwachen der Oberflächenbeschaffenheit des Wafers kennzeichnet.

Ali Salehpour, Älteres VP und Generaldirektor der Surfscan-Abteilung bei KLA-Tencor befürwortete den Gebrauch von der Plattform SP3 über 300-mm- und 450 mm-Wafers, 20 nm-Knotenpunktprozesse zu ermöglichen. Er erklärte, dass SP3 die einzige nicht-kopierte prozesskontrollierte Anlage im Markt ist, der zur Lieferung von Bildern der hohen Auflösung der Oberflächenbeschaffenheit und der einzigen Art, um tiefe ultraviolette Empfindlichkeit-aktivierende Beleuchtung (DUV) einzusetzen fähig ist.

Die Firma hat bereits zahlreiche Ordnungen von den verschiedenen führenden Herstellern von integrierten Schaltungen und von Substratflächen empfangen. Die Plattform SP3 ist in 300mm-only und in 300 Brückenkonfigurationen mm/450 mm erhältlich.

Quelle:

Last Update: 11. July 2012 04:34

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