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Posted in | Nanofabrication

KLA-Tencor は 450mm の機能の Surfscan SP3 のプラットホームの新しい構成をもたらします

Published on July 11, 2012 at 3:57 AM

意志 Soutter によって

プロセス制御管理解決提供者をインストールしました 450 の mm のウエファーのためのプロセス制御システムの新しい範囲の第一号をもたらせば KLA-Tencor Corporation。 ツールは Surfscan SP3 のプラットホームへ最新の付加、 Surfscan SP3 450 として分類されます。

SP3 Surfscan

非模造されたウエファーの検査システムは完全に 20 の nm ノードプロセスの厳しい表面品質および欠陥制御条件に付着する十分にことができます自動化され。 システムはこうしてケイ素 450 の mm およびエピタキシアルシリコン基板の製造の重要な制御を提供します。 SP3 450 はまたフィルムの沈殿ツールのような 450 の mm プロセスで、 CMP のパッド、ぬれたきれいなツール、焼きなましシステムおよびスラリーおよびポリッシャ使用されるツールの製造で上向きに用いることができます。

SP3 450 が 450 の mm への企業の転移のための大いに必要なツールで、ウエファーことをの表面品質の監視から離れてアニーリング問題の識別の imec を助けることをハンズ Lebon、ルーフェンの nanoelectronics の研究所の製造マネージャ、 imec は、示しました。

KLA-Tencor の Surfscan の部分のアリ Salehpour、年長 VP および総務部長は 300 の mm および 450 の mm のウエファーを渡る SP3 プラットホームの使用を 20 の nm ノードプロセスを促進する支持しました。 彼は深い紫外感度可能になる照明を用いるために SP3 が表面品質および唯一の種類の高リゾリューションの画像を提供することができる市場の唯一の非模造されたプロセス制御システムである (DUV)ことを示しました。

会社は集積回路および基板のさまざまな一流の製造業者から既に多数の順序を受け取ってしまいました。 SP3 プラットホームは 300mm だけおよび mm/450 mm 橋構成 300 で使用できます。

ソース: http://www.kla-tencor.com

Last Update: 11. July 2012 04:35

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