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KLA-Tencor는 450mm 기능에 Surfscan SP3 플래트홈의 새로운 윤곽을 소개합니다

Published on July 11, 2012 at 3:57 AM

의지 Soutter에 의하여

KLA-Tencor Corporation, 순서 관리 및 수확량 관리 해결책 공급자는 450 mm 웨이퍼를 위한 순서 관리 시스템의 그것의 새로운 범위의 첫번째 설치했습니다. 공구는 Surfscan SP3 플래트홈에 최신 추가이고 Surfscan SP3 450로 레테르를 붙입니다.

SP3 Surfscan

비 모방된 웨이퍼 검사 시스템은 완전하게 20 nm 마디 프로세스의 엄격한 지상 질과 결점 통제 필수품에 고착 완전히 가능합니다 자동화되고. 시스템은 이렇게 실리콘 450 mm 및 코피 실리콘 기판 제조 이상 중요한 통제를 제안합니다. SP3 450는 또한 필름 공술서 공구와 같은 450 mm 프로세스에서 CMP 패드, 젖은 청결한 공구, 단련 시스템 및 슬러리 및 광택기 사용된 공구의 제조에서 위쪽으로 채택될 수 있습니다.

SP3 450가 450 mm에 기업의 전환을 위한 대단히 필요한 공구이고 웨이퍼의 지상 질 감시은 그렇다 하고 어닐링 문제점 확인에 있는 imec를 도울 것이라는 점을 Hans Lebon, Leuven nanoelectronics 연구소에 제작 매니저, imec는, 주장했습니다.

KLA-Tencor에 Surfscan 부분의 알리 Salehpour, 고위 VP 및 총관리인은 20 nm 마디 프로세스를 촉진하는 300 mm 및 450 mm 웨이퍼를 통해 SP3 플래트홈의 사용을 옹호했습니다. 그는 깊은 자외선 감도 가능하게 하는 조명을 채택하기 위하여 SP3가 지상 질과 유일한 종류의 고해상 심상 제공 가능한 시장에 있는 유일하게 비 모방한 순서 관리 시스템 이다는 것을 (DUV) 주장했습니다.

회사는 직접 회로와 기질의 각종 주요한 제조자에서 이미 수많은 명령을 수신했습니다. SP3 플래트홈은 300mm-only와 300의 mm/450 mm 브리지 윤곽에서 유효합니다.

근원: http://www.kla-tencor.com

Last Update: 11. July 2012 04:35

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