Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
Posted in | Nanofabrication

KLA-Tencor Introduceert Nieuwe Configuratie van SP3 Surfscan Platform met 450mm Vermogen

Published on July 11, 2012 at 3:57 AM

Door Zal Soutter

Procesbeheersing en van het opbrengstbeheer de oplossingenleverancier, KLA-Tencor Corporation heeft eerste van zijn nieuw gamma van procesbeheersingssystemen voor 450 mmwafeltjes geïnstalleerd. Het hulpmiddel is de recentste toevoeging aan het SP3 Surfscan platform en als Surfscan SP3 450 geëtiketteerd.

SP3 Surfscan

Het niet-gevormde systeem van het wafeltjeonderzoek is volledig geautomatiseerd en kan volledig de strenge van het oppervlakteen tekort kwaliteitsbeheersing vereisten van de processen van de 20 NMknoop aanhangen. Het systeem biedt zo significante controle meer dan 450 mmsilicium en epitaxial vervaardiging van het siliciumsubstraat aan. SP3 450 kan ook omhoog in vervaardiging van hulpmiddelen worden tewerkgesteld die in 450 mmproces worden gebruikt zoals de hulpmiddelen van het filmdeposito, stootkussens CMP, natte schone hulpmiddelen, onthardende systemen en dunne modder en poetsmiddelen.

Hans Lebon, vervaardigingsmanager op het nanoelectronicsonderzoekscentrum van Leuven, imec, verklaarde dat SP3 450 een veelgevraagd hulpmiddel voor de overgang van de industrie aan 450 mm is en imec in het identificeren van onthardende kwesties behalve de controle van de oppervlaktekwaliteit van het wafeltje zou helpen.

Ali Salehpour, Hogere VP en de Algemene Manager van de Afdeling Surfscan in KLA-Tencor bepleitten het gebruik van het SP3 platform over 300 mm en 450 mmwafeltjes om de processen van de 20 NMknoop te vergemakkelijken. Hij verklaarde dat SP3 het enige niet-gevormde procesbeheersingssysteem in de markt geschikt om hoge resolutiebeelden van oppervlaktekwaliteit en de enige soort te verstrekken is om diepe ultraviolette gevoeligheid-toelatende (DUV) verlichting aan te wenden.

Het bedrijf heeft reeds talrijke orden van diverse belangrijke fabrikanten van geïntegreerde schakelingen en substraten ontvangen. Het SP3 platform is beschikbaar in de 300mm-enige en 300 configuraties van de mm/450mm brug.

Bron: http://www.kla-tencor.com

Last Update: 11. July 2012 04:34

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit