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KLA-Tencor Introduz a Configuração Nova da Plataforma de Surfscan SP3 com Capacidade de 450mm

Published on July 11, 2012 at 3:57 AM

Pela Vontade Soutter

Controle de processos e renda soluções fornecedor da gestão, KLA-Tencor Corporation instalou o primeiro de sua escala nova de sistemas controles de processos para bolachas de 450 milímetros. A ferramenta é a adição a mais atrasada à plataforma de Surfscan SP3 e é etiquetada como Surfscan SP3 450.

SP3 Surfscan

O sistema não-modelado do exame da bolacha completamente é automatizado e é inteiramente capaz da aderência às exigências estritas da qualidade de superfície e do controle de defeito de 20 processos do nó do nanômetro. O sistema oferece assim o controle significativo sobre 450 milímetros de silicone e a fabricação epitaxial da carcaça de silicone. O SP3 450 pode igualmente ser empregado para cima na fabricação de ferramentas usadas em um processo de 450 milímetros tal como ferramentas do depósito do filme, almofadas do CMP, ferramentas limpas molhadas, sistemas e pastas de recozimento e polishers.

Hans Lebon, gerente no centro de pesquisa do nanoelectronics de Lovaina, imec da fabricação, indicou que o SP3 450 é uma ferramenta tão necessária para a transição da indústria a 450 milímetros e ajudaria o imec em identificar edições do recozimento independentemente de monitorar a qualidade de superfície da bolacha.

Ali Salehpour, VP Superior e Director Geral da Divisão de Surfscan em KLA-Tencor defendeu o uso da plataforma SP3 através das bolachas de 300 milímetros e de 450 milímetros facilitar 20 processos do nó do nanômetro. Indicou que SP3 é o único sistema controle de processos não-modelado no mercado capaz de fornecer imagens de alta resolução da qualidade de superfície e do único tipo para empregar a iluminação depossibilidade (DUV) ultravioleta profunda.

A empresa tem recebido já pedidos numerosos dos vários fabricantes principais dos circuitos integrados e das carcaças. A plataforma SP3 está disponível em 300mm-only e em 300 configurações da ponte de mm/450 milímetro.

Source: http://www.kla-tencor.com

Last Update: 11. July 2012 04:36

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