Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Nanofabrication

KLA-Tencor Вводит Новую Конфигурацию Платформы Surfscan SP3 с Возможностью 450mm

Published on July 11, 2012 at 3:57 AM

Волей Soutter

Разрешения провайдер управления Управления производственным процессом и выхода, KLA-Tencor Корпорация установили первый из своего нового ряда систем управления производственным процессом для вафель 450 mm. Инструмент самое последнее добавление к платформе Surfscan SP3 и обозначен как Surfscan SP3 450.

SP3 Surfscan

Non-сделанная по образцу система рассмотрения вафли вполне автоматизирована и полно способна придерживаться к строгий требованиям к управлением качества поверхности и дефекта 20 процессов узла nm. Система таким образом предлагает значительно управление над 450 mm кремния и эпитаксиальным изготовлением субстрата кремния. SP3 450 можно также использовать вверх в изготовлении инструментов используемых в процессе 450 mm как инструменты низложения фильма, пусковые площадки CMP, влажные чистые инструменты, обжигая системы и slurries и полировщики.

Hans Lebon, менеджер на исследовательскийа центр nanoelectronics Лёвена, imec изготовления, заявил что SP3 450 необходимый инструмент для перехода индустрии до 450 mm и поможет imec в определять вопросы отжига отдельно от контролировать качество поверхности вафли.

Али Salehpour, Старшее VP и Генеральный Директор Разделения Surfscan на KLA-Tencor защитило пользу платформы SP3 через вафли 300 mm и 450 mm облегчить 20 процессов узла nm. Он заявил что SP3 единственная non-сделанная по образцу система управления производственным процессом в рынке способном обеспечивать высокие изображения разрешения качества поверхности и единственного вида для того чтобы использовать глубокое ультрафиолетов (DUV) чувствительност-позволяя освещение.

Компания уже получала многочисленние заказы от различных ведущих изготовлений интегральных схема и субстратов. Платформа SP3 доступна в 300mm-only и 300 конфигурациях моста mm/450 mm.

Источник: http://www.kla-tencor.com

Last Update: 11. July 2012 04:36

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit