Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
Posted in | Nanofabrication

KLA-Tencor Introducerar den Nya Konfigurationen av den Surfscan SP3 Plattformen med 450mm Kapacitet

Published on July 11, 2012 at 3:57 AM

Vid Ska Soutter

Process kontrollerar, och avkastningledninglösningar familjeförsörjaren, KLA-Tencor Corporation har installerat första av dess nytt spänner av processaa kontrollerar system för 450 en mmrån. Bearbeta är det senaste tillägget till den Surfscan SP3 plattformen och märks som Surfscan SP3 450.

SP3 Surfscan

Detmönstrade rånundersökningssystemet automatiseras och är fullständigt fullständigt kapabelt av att klibba till det strängt ytbehandlar kvalitets- och hoppar av kontrollerar krav av 20, nm- somknutpunkten bearbetar. Systemet erbjuder thus viktigt kontrollerar över 450 en mmsilikoner och epitaxial silikonsubstratetillverkning. SP3EN 450 kan också användas uppåt i tillverkning av bearbetar använt i 450 som en mm som är processaa liksom, filmar avlagring bearbetar, CMP vadderar, blöter rengöring bearbetar och att härda system och slam och polishers.

Hans Lebon, fabriceringchefen på den Leuven nanoelectronicsforskningscentrat, imec, påstod att SP3EN 450 är mycket - nödvändigt bearbeta för bransch övergång till en mm 450, och skulle hjälpimec, i att identifiera att härda, utfärdar frånsett att övervaka ytbehandla som är kvalitets- av rånet.

Ali Salehpour, Pensionären VP och Generalen Chefen av den Surfscan Uppdelningen på KLA-Tencor förespråkade bruket av plattformen SP3 över 300 en mm, och 450 en mmrån som gör knutpunkten för 20 lättare nm, bearbetar. Han påstod att SP3 är det enda non-mönstrade processaa kontrollerar systemet i marknadsföra som är kapabel av att ge kickupplösning avbildar av ytbehandlar kvalitets- och den enda sorten för att använda djup ultraviolett (DUV) känslighet-möjliggöra belysning.

Företaget har redan mottagit talrikt beställer från olika ledande producenter av inbyggt - går runt och substrates. Plattformen SP3 är tillgänglig i 300mm-only, och överbryggar en mm 300 mm/450 konfigurationer.

Källa: http://www.kla-tencor.com

Last Update: 11. July 2012 04:36

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit