La Técnica Híbrida de la Metrología del NIST Puede Reducir Incertidumbres en la Medición de las Características del Chip de Ordenador

Published on September 7, 2012 at 6:43 AM

Por la Voluntad Soutter

El National Institute of Standards and Technology (NIST) ha ideado una técnica híbrida de la metrología que podría reducir las incertidumbres relacionadas con la medición de características en el chip de ordenador. La técnica híbrida de la metrología es una combinación de las técnicas del análisis estadístico y de exploración.

Este pilar minúsculo del silicio, midiendo menos de 100 nanómetros a lo largo de ningunas de sus caras, es la clase de característica del chip de ordenador que los fabricantes ahora pueden medir más exacto con el método híbrido de la metrología del NIST, que puede reducir las incertidumbres que regañan que han plagado de largo los esfuerzos de la medición de la industria. Haber: NIST

El proceso de la fabricación un chip de ordenador implica mucha incertidumbre, especialmente mientras que se ocupa de la medición de características nanómetro-clasificadas. Los microscopios Ópticos no pueden analizar efectivo estas pequeñas características. Los Metrólogos utilizan generalmente otros métodos tales como microscopia atómica de la fuerza (AFM) y scatterometry para estudiar estas características.

En scatterometry, la luz dispersa de los bordes del chip de ordenador crea un modelo del cual las propiedades de la característica puedan ser deducidas. En caso de que sea scatterometry no sean efectivos, los metrólogos utilicen el AFM, un proceso lento y costoso por los cuales el ancho y la altura de un objeto nano-clasificado pueden ser medidos.

Richard Se Platea, un científico en el NIST, dijo que si el ancho de un objeto se calcula para ser 40 nanómetro usando scatterometry, el ancho real variaría más o menos por 3 nanómetro. Él asierra al hilo que esta variación es relativamente grande, y por otra parte, las incertidumbres podrían aumentar cuando otras técnicas de la medición se combinan, llevando a poca claridad. Él también dijo que GLOBALFOUNDRIES y IBM han comenzado a emplear la técnica híbrida de la metrología, después de que fuera introducida con una conferencia en 2009, y han sido acertados.

Los Científicos del NIST intentaron trabajar en la concepción de una técnica que era más exacta y económica. Las mediciones obtenidas del AFM y de métodos scatterometry fueron comparadas con los datos simulados salvados en una biblioteca. Sin Embargo, esto tenía también un de alto nivel de la incertidumbre. El Ventilator Zhang, estadístico de Nien con el NIST, análisis Bayesian empleado e incorporado algunos valores medidos en la biblioteca anterior modela. Esta aproximación redujo incertidumbres en gran parte en algunos casos.

Fuente: http://www.nist.gov/index.html

Last Update: 7. September 2012 07:59

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