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La Tecnica Ibrida della Metrologia del NIST Può Diminuire le Incertezze nella Misura delle Funzionalità del Chip di Computer

Published on September 7, 2012 at 6:43 AM

Dalla Volontà Soutter

Il National Institute of Standards and Technology (NIST) ha inventato una tecnica ibrida della metrologia che potrebbe diminuire le incertezze relative alla misura delle funzionalità sul chip di computer. La tecnica ibrida della metrologia è una combinazione di tecniche di rilevamento e dell'analisi statistica.

Questa colonna minuscola del silicio, misurante meno di 100 nanometri lungo c'è ne dei sui lati, è l'ordinamento della funzionalità del chip di computer che i produttori ora possono misurare più precisamente con il metodo ibrido della metrologia del NIST, che può diminuire le incertezze fastidiose che lungamente hanno contagiato gli sforzi della misura dell'industria. Credito: NIST

Il trattamento di fabbricazione un chip di computer comprende molta incertezza, particolarmente mentre si occupa della misura delle funzionalità nanometro di taglia. I microscopi Ottici non possono efficacemente analizzare queste piccole funzionalità. I Metrologi usano generalmente altri metodi quale microscopia atomica della forza (AFM) e scatterometry per studiare queste funzionalità.

In scatterometry, l'indicatore luminoso sparso dalle barriere del chip di computer crea un reticolo da cui i beni della funzionalità possono essere dedotti. Nei casi in cui scatterometry non è efficaci, i metrologi usano il AFM, un trattamento lento e costoso da cui la larghezza e l'altezza di un oggetto nano di taglia possono essere misurate.

Richard Argenta, uno scienziato al NIST, ha detto che se la larghezza di un oggetto è calcolata per essere 40 nanometro facendo uso di scatterometry, la larghezza reale varierebbe più o meno da 3 nanometro. Ritiene che questa varianza sia relativamente grande ed inoltre, le incertezze potrebbero aumentare quando altre tecniche di misura si combinano, piombo a poca chiarezza. Egualmente ha detto che GLOBALFOUNDRIES e IBM hanno cominciato impiegare la tecnica ibrida della metrologia, dopo che è stata introdotta con una conferenza nel 2009 e sono riusciti.

Gli Scienziati dal NIST hanno provato a lavorare ad inventare una tecnica che era più accurata ed economica. Le misure ottenute dal AFM e dai metodi scatterometry sono state paragonate ai dati simulati memorizzati in una libreria. Tuttavia, questo anche ha avuto un ad alto livello di incertezza. Il Ventilatore Zhang, uno statistico di Nien con il NIST, l'analisi Bayesana impiegata ed incorporato alcuni valori misurati nella libreria precedente modella. Questo approccio ha diminuito le incertezze in larga misura in alcuni casi.

Sorgente: http://www.nist.gov/index.html

Last Update: 7. September 2012 07:57

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