A Técnica Híbrida da Metrologia do NIST Pode Reduzir Incertezas na Medida de Características do Chip de Computador

Published on September 7, 2012 at 6:43 AM

Pela Vontade Soutter

O National Institute of Standards and Technology (NIST) planejou uma técnica híbrida da metrologia que poderia reduzir as incertezas relativas à medida das características no chip de computador. A técnica híbrida da metrologia é uma combinação de técnicas de análise estatística e de exploração.

Esta coluna minúscula do silicone, medindo menos de 100 nanômetros ao longo de alguns de seus lados, é meio a característica do chip de computador que os fabricantes agora podem medir mais precisamente com método híbrido da metrologia do NIST, que pode reduzir as incertezas irritantes que têm flagelado por muito tempo esforços da medida da indústria. Crédito: NIST

O processo de fabricação um chip de computador envolve muita incerteza, especialmente ao tratar a medida de características nanômetro-feitas sob medida. Os microscópios Ópticos não podem eficazmente analisar estas características pequenas. Os Metrologists usam geralmente outros métodos tais como a microscopia atômica da força (AFM) e scatterometry para estudar estas características.

Em scatterometry, a luz dispersada das bordas do chip de computador cria um teste padrão de que as propriedades da característica podem ser deduzidas. Nos casos onde scatterometry não são o uso AFM eficaz, dos metrologists, um processo lento e caro por que a largura e a altura de um objeto nano-feito sob medida podem ser medidas.

Richard Prateia, um cientista no NIST, disse que se a largura de um objeto é calculada para ser utilização de 40 nanômetro scatterometry, a largura real variaria mais ou menos por 3 nanômetro. Sente que esta variação é relativamente grande, e além disso, as incertezas poderiam aumentar quando outras técnicas da medida são combinadas, conduzindo a pouca claridade. Igualmente disse que GLOBALFOUNDRIES e o IBM começaram empregar a técnica híbrida da metrologia, depois que foi introduzida com uma conferência em 2009, e foram bem sucedidos.

Os Cientistas do NIST tentaram trabalhar em planejar uma técnica que fosse mais exacta e econômica. As medidas obtidas do AFM e dos métodos scatterometry foram comparadas com os dados simulados armazenados em uma biblioteca. Contudo, isto teve demasiado um nível elevado de incerteza. O Ventilador Zhang de Nien, um estatístico com NIST, análise Bayesian empregada e incorporado alguns valores mais medidos na biblioteca precedente modela. Esta aproximação reduziu incertezas na maior parte das vezes em alguns casos.

Source: http://www.nist.gov/index.html

Last Update: 7. September 2012 07:58

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