NIST 的雜種計量學技術可能減少在計算機芯片功能的評定的不確定性

Published on September 7, 2012 at 6:43 AM

由意志 Soutter

國家標準技術局 (NIST) 構想了可能減少不確定性與功能評定有關在計算機芯片的雜種計量學技術。 雜種計量學技術是統計分析和掃描技術的組合。

此微小的硅柱子,評定少於沿的 100 毫微米任何其端,是類計算機芯片功能製造商可能精密地現在評定與 NIST 的雜種計量學方法,可能減少嘮叨的不確定性長期困擾了行業的評定工作成績。 赊帳: NIST

製造過程計算機芯片介入很多不確定性,特別是當處理毫微米尺寸功能的評定時。 光學顯微鏡不可能有效分析這些小的功能。 度量衡學者一般使用其他方法例如基本強制顯微學 (AFM)和 scatterometry 學習這些功能。

在 scatterometry,從計算機芯片的邊緣分散的光創建功能屬性可以推導的一個模式。 在 scatterometry 處没有效,度量衡學者使用一個納諾尺寸對象的寬度和高度可以評定的 AFM,一個緩慢和消耗大的進程。

理查變成銀色,科學家在 NIST,說,如果使用 scatterometry,對象的寬度被計算是 40 毫微米,這個實際寬度將由 3 毫微米變化或多或少。 他感到此差異相對地大,而且,并且,不確定性可能增加,當評定其他技術被結合時,導致一點清晰。 他也說 GLOBALFOUNDRIES 和 IBM 開始使用雜種計量學技術,在 2009年後,在它通過一個會議被引入和是成功的。

從 NIST 的科學家設法在構想是更加準確和經濟的技術從事。 從 AFM 和 scatterometry 方法得到的評定與在圖書館存儲的被模擬的數據比較。 然而,這也有高級不確定性。 Nien 風扇張,有 NIST 的一個統計學家,被使用的貝葉斯的分析和合併一些個測量值到這個早先圖書館裡塑造。 此途徑到大規模範圍減少了不確定性在一些個案件。

來源: http://www.nist.gov/index.html

Last Update: 7. September 2012 07:56

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