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Posted in | Nanolithography

TSMC Bestätigt Produkt des Mentors des Kaliber-LFD für Seinen Prozess 20nm

Published on September 14, 2012 at 6:03 AM

Durch Willen Soutter

Die Taiwan-Halbleiter-Produktionsgesellschaft (TSMC) hat die Abschlusslithographie Freundlicher Auslegung Kaliber (LFD) Litho das Hilfsmittel überprüfend bestätigt, das durch Mentor-Grafiken für Überprüfung seines Herstellungsverfahrens 20 nm-integrierter Schaltungen entwickelt wird.

Das Hilfsmittel des Kalibers LFD kann verwendet werden, um zu überprüfen, ob der Schaltplan ausreichendes Prozessfenster erlaubt und Krisenherde auch zu entdecken. In der Fertigung von integrierten Schaltungen, wird optische Näherungskorrektur während der Maskenstufe des Prozesses eingesetzt, um Merkmale mit Punkten gleichzurichten. Für jene Merkmale, die nicht durch die oben erwähnte Methode gleichgerichtet werden können, aktiviert das Hilfsmittel des Kalibers LFD das Kennzeichen der Defekte in der Entwurfsphase und stellt Korrektur vor tapeout sicher. Die vor--tapeout Lithographieüberprüfung beseitigt Verzögerungen in den späten Zeitpunkten der Herstellung infolge der Neukonstruktion und auch Hilfen vermeiden, Punkte Betreffend Lithographie herzustellen.

Vor--tapeout Lithographieüberprüfung wurde die Industrienorm mit dem Aufkommen 40 und 28 nm-Herstellungsverfahren. Die gleiche Praxis fährt für den 20 nm Prozess fort. Joe Kwan, Produkt-Vertriebsleiter an den Mentor-Grafiken für Kaliber LFD und DFM Halten instand, angegeben, dass sie in Verbindung mit TSMC-Recht vom Anfang TSMCs litho des Prozessprüfungsentwicklungsprojekts gearbeitet (LPC) haben, um das Hilfsmittel des Kalibers LFD mit der integrierten Auslegung für die Herstellung des Motors (DFM) von TSMC zu enthalten. Suk Lee, Älterer Direktor, Auslegungs-Infrastruktur-Marketing-Abteilung bei TSMC erklärte dass LPC-Beihilfen, wenn er 20 nm-Auslegungen mit dem doppelten Kopieren auf Übereinstimmung zu DFM-Anforderungen überprüfte und würde auch Krisenherde Betreffend Lithographie beseitigen. Er glaubt, dass die Kombination ihres DFM-Motors und Kalibers LFD die genaue Lithographieprüfung liefert.

Quelle: http://www.mentor.com/

Last Update: 14. September 2012 07:00

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