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Posted in | Nanolithography

O TSMC Certifica o Produto do Calibre LFD do Mentor para Seu Processo 20nm

Published on September 14, 2012 at 6:03 AM

Pela Vontade Soutter

A Empresa de Manufactura do Semicondutor de Taiwan (TSMC) certificou a litografia de término do Projecto Amigável (LFD) de Litho do Calibre que verifica a ferramenta desenvolvida por Gráficos do Mentor para a verificação de seu processo de manufactura de 20 circuitos integrados do nanômetro.

A ferramenta do Calibre LFD pode ser usada para verificar se o projecto de circuito permite o indicador adequado do processo e para detectar igualmente pontos quentes. Na fabricação de circuitos integrados, a correcção óptica da proximidade é empregada durante a fase da máscara do processo para rectificar características com edições. Para aquelas características que não podem ser rectificadas pelo método acima mencionado, a ferramenta do Calibre LFD permite a identificação dos defeitos na fase de projecto e assegura a correcção antes do tapeout. A verificação da litografia do pre-tapeout elimina atrasos nos estados avançados de fabricação em conseqüência do re-projecto e igualmente as ajudas evitam fabricar as edições que referem-se a litografia.

A verificação da litografia de Pre-tapeout transformou-se a norma da indústria com o advento de 40 e 28 processos de manufactura do nanômetro. A mesma prática continua para o processo de 20 nanômetro. Joe Kwan, Gerente de Marketing de Produto em Gráficos do Mentor para o Calibre LFD e DFM Presta Serviços De Manutenção, indicado que têm trabalhado conjuntamente com o direito do TSMC do início do projecto de desenvolvimento da verificação de processo do litho (LPC) do TSMC a fim incorporar a ferramenta do Calibre LFD com o Projecto integrado para Fabricar (DFM) o motor do TSMC. O Lee de Suk, Director Superior, Divisão do Mercado da Infra-estrutura do Projecto no TSMC indicou que auxílios do LPC em verificar 20 projectos do nanômetro com a modelação dobro para ver se há a conformidade às exigências de DFM e igualmente eliminou os pontos quentes que referem-se a litografia. Acredita que a combinação de seus motor de DFM e Calibre LFD fornecerá a verificação precisa da litografia.

Source: http://www.mentor.com/

Last Update: 14. September 2012 07:01

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