Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Nanolithography

TSMC Intygar Mentor Produkten för Kaliber LFD för Dess Processaa 20nm

Published on September 14, 2012 at 6:03 AM

Vid Ska Soutter

Det Fabriks- Företaget för den Taiwan Halvledaren (TSMC) har intygat KaliberLitho den Vänliga Designen som (LFD) utgångskontrollera för lithography bearbetar framkallat av MentorDiagram för verifikation av dess integrerade 20 nm - går runt fabriks- bearbetar.

Kalibern LFD bearbetar kan vara den van vid kontrollen, om gå runtdesignen låter det adekvat processaa fönstret och också avkänna hotspots. I tillverkningen av inbyggt - går runt, den optiska närhetkorrigeringen används under maskera arrangerar av det processaa för att korrigera särdrag med utfärdar. För de särdrag, som inte kan korrigeras av den nämnda metoden, bearbetar Kalibern LFD möjliggör IDet av hoppar av i designen arrangerar och ser till beriktigande för tapeout. Pre-tapeoutlithographyverifikationen avlägsnar fördröjningar i mer sistnämnd arrangerar av fabriks- som ett resultat av revidering, och också undviker hjälp fabriks- utfärdar att gälla till lithography.

Den Pre-tapeout lithographyverifikationen blev branschnormen med adventen av 40, och fabriks- 28 nm bearbetar. Samma övar fortsätter för de processaa 20na nm. Joe Kwan, Produkt som Marknadsför Chefen på MentorDiagram för Kalibern LFD och DFM, Servar, påstått att de har varit funktionsdugliga i samverkan med TSMC som är höger från inceptionen av TSMCS litho som processaa kontrollerande (LPC) utveckling projekterar för att införlivat Kalibern LFD bearbetar med den inbyggda Designen för Fabriks- (DFM) motor av TSMC. Suk Lee, den Höga Direktören, DesignInfrastruktur som Marknadsför Uppdelning på TSMC påstod att LPC bistår i att kontrollera 20 nm-designer med dubblett som mönstrar för konformism till DFM-krav och skulle också avlägsna hotspots som gäller till lithography. Han tror att kombinationen av deras DFM-motor och den ska Kalibern LFD ger preciserar att kontrollera för lithography.

Källa: http://www.mentor.com/

Last Update: 14. September 2012 07:02

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit