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La Microscopie de Carl Zeiss Lance l'Outil de Poutre de Multi-Ion d'Orion NanoFab à la COMPATIBILITÉ ÉLECTROMAGNÉTIQUE

Published on September 17, 2012 at 6:09 PM

La Microscopie de Carl Zeiss a introduit l'ORION NanoFab au Congrès Européen de Microscopie (EMC) à Manchester, R-U. C'est le premier outil de multi-ion-poutre basé sur la technologie de Source D'ions De Gisement (GFIS) de Gaz.

Comme amélioration importante au microscope d'ion existant d'hélium, ORION NanoFab emploie également les ions au néon. Le système est pour cette raison capable de fournir une solution complète de représentation de nanofabrication et de sous-nanomètre du nanomètre sub-10 pour l'industrie, le gouvernement, et les laboratoires de recherche universitaire. Un fléau orienté par gallium optionnel de faisceau d'ions (FIB) peut également être intégré.

ORION NanoFab de Microscopie de Carl Zeiss

« Cet instrument offre la résolution spatiale de sous-nanomètre ajoutée à une profondeur de zone extrêmement élevée, pour l'étude d'une grande variété de matériaux tels que les matériaux basés de carbone, des copolymères, et des structures de dispositif, et offre également des options pour un grand choix de techniques micro-analytiques avancées, » dit M. David Joy, Scientifique Distingué au Centre pour la Science Des Matériaux De Nanophase (CNMS), Laboratoire National d'Oak Ridge. CNMS au Laboratoire National d'Oak Ridge (ORNL) est un Département de l'Énergie/Bureau de Centre de Recherche de la Science de Nanoscale de la Science (NSRC).

Le faisceau d'ions au néon offre des capacités précises d'usinage et de nanofabrication devant pulvériser plus haut des rendements dans le faisceau d'ions fraisant et résister plus rapidement à l'exposition en lithographie de faisceau d'ions. Le faisceau d'ions d'hélium permet la nanofabrication de sub-10 nanomètre ainsi que la capacité de haute résolution de représentation dans la même chose instrument. Le fléau de pointe optionnel de BOBARD de gallium permet le démontage matériel massif. Ceci effectue à ORION NanoFab la plate-forme de nanofabrication la plus versatile et de représentation disponible.

« J'ai finalement trouvé le système que Je recherchais les cinq dernières années, » dit M. Qianjin Wang du Service de Physique à l'Université de Nanjing en Chine. « En Tant Qu'utilisateur de BOBARD de gallium pendant dix dernières années, Je me sens chanceux que Je serai au premier rang du tour dans le nanoworld comme Je me concentre sur ma recherche sur les propriétés optiques des structures artificielles de nanoscale. »

« Nous sommes très enthousiastes au sujet de tous les aspects d'ORION NanoFab. » dit Michael Phaneuf, Président de Fibics A Comporté, une compagnie de développement d'applications de FIB/SEM déterminée dans Ottawa, Canada en 1997. « L'évolution à cet outil de hélium-néon-Galliums de rétablissement est vraiment impressionnante. Les possibilités pour la nanofabrication de multi-échelle combinant chacune des trois poutres sont vraiment remarquables, et les applications concernant la représentation de haute résolution de l'hélium et du néon commencent seulement maintenant à être réalisées. Nous sommes désireux au développement d'applications de début sur cette plate-forme, et voyons où elle aboutit. »

Last Update: 17. September 2012 18:23

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