칼 Zeiss 현미경 검사법은 EMC에 오리온 NanoFab 다중 이온 光速 공구를 발사합니다

Published on September 17, 2012 at 6:09 PM

칼 Zeiss 현미경 검사법은 맨처스터, UK에 있는 유럽 현미경 검사법 의회에 (EMC) 오리온 NanoFab를 소개했습니다. 가스전 이온샘 기술에 근거를 둔 첫번째 다중 이온 光速 공구 (GFIS)입니다.

기존 헬륨 이온 현미경에 중요한 증진으로, 오리온 NanoFab는 또한 네온 이온을 이용합니다. 시스템은 그러므로 기업, 정부 및 학문적인 연구소를 완전한 이하 10 나노미터 nanofabrication와 이하 나노미터 화상 진찰 해결책 제공 가능합니다. 선택적인 갈륨에 의하여 집중된 이온살 (FIB) 란은 또한 통합 일 수 있습니다.

칼 Zeiss 현미경 검사법에서 오리온 NanoFab

"이 계기 탄소 기지를 둔 물자와 같은 다양한 물자의 연구 결과를 위한 필드의 극단적으로 높은 깊이로, 공중 합체 결합된 이하 나노미터 공간적 해상도를 및 장치 구조물 제안하고, 또한 다양한 향상된 microanalytical 기술을 위한 선택권을 제안합니다,"는 박사를 말합니다 데비드 Joy, Nanophase 재료 과학 (CNMS)를 위한 센터, 오크리지 국립 연구소에 수훈이 있는 과학자. 오크리지 국립 연구소에 CNMS는 (ORNL) 과학 Nanoscale 과학 연구소의/사무실 자원부입니다 (NSRC).

네온 이온살은 높이 맷돌로 가는 이온살에 있는 수확량을 침을 튀기고 더 단단 이온살 석판인쇄술에 있는 노출을 저항하게 만기가 된 정확한 기계로 가공 및 nanofabrication 기능을 제안합니다. 헬륨 이온살은 동일 계기에 있는 이하 10 nm nanofabrication 뿐 아니라 고해상 화상 진찰 기능을 허용합니다. 선택적인 최신식 갈륨 거짓말 란은 다량 물자 제거를 허용합니다. 유효한 가장 다재다능한 nanofabrication와 화상 진찰 플래트홈이 이것에 의하여 오리온 NanoFab에게 합니다.

"나는 중국에 있는 난징 대학에 마지막으로 내가 과거 5 년을 찾고 있었다 시스템을," 말합니다 Qianjin 왕 물리학 부에서 박사를 찾아냈습니다. "10 년간 지나서 갈륨 거짓말 사용자로, 나는 나가 인공적인 nanoscale 구조물의 광학적 성질에 대한 나의 연구에." 집중한 대로 내가 nanoworld에 있는 혁명의 최전선에 일 운이 좋게 느낍니다

"우리는 오리온 NanoFab의 모든 양상에 관하여 아주 흥분합니다." 마이클 Phaneuf를 Fibics의 대통령 통합했습니다, 오타와, 1997년에 캐나다에서 설치된 FIB/SEM 애플리케이션 개발 회사 말합니다. "이 세대 헬륨 네온 갈륨 공구에 기동전개는 확실하게 감동합니다. 모든 3개의 光速를 결합하는 다중 가늠자 nanofabrication를 위한 가능성은 확실하게 현저하, 헬륨과 네온으로 고해상 화상 진찰을 관련시키는 응용은 지금 단지 실현되는 것을 시작되고 있습니다. 우리는 이 플래트홈에 어플리케이션의 시작 발달에 열망하고." 어디에 지도하는지 봅니다

Last Update: 17. September 2012 18:24

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