Микроскопия Карл Zeiss Запускает Инструмент Луча Multi-Иона Ориона NanoFab на EMC

Published on September 17, 2012 at 6:09 PM

Микроскопия Карл Zeiss ввела ОРИОН NanoFab на Европейской Микроскопии Конгресе (EMC) в Манчестере, ВЕЛИКОБРИТАНИИ. Это первый инструмент multi-ион-луча основанный на технологии Источника Иона (GFIS) Месторождения Газа.

Как главное повышение к существующему микроскопу иона гелия, ОРИОН NanoFab также использует неоновые ионы. Система поэтому способна обеспечивать полное разрешение воображения nanofabrication и sub-нанометра нанометра sub-10 для индустрии, правительства, и академичных исследовательских лабараторий. Опционным сфокусированная галлием колонка луча (FIB) иона может также быть интегрирована.

ОРИОН NanoFab от Микроскопии Карл Zeiss

«Эта аппаратура предлагает пространственное разрешение sub-нанометра соединенное с весьма высокой глубиной поля, для изучения большого разнообразия материалов как базовые материалы углерода, сополимеры, и структуры прибора, и также предлагает варианты для разнообразие предварительных microanalytical методов,» говорит Др. Дэвид Утеху, Великий Ученый на Центре для Науки Материалов Nanophase (CNMS), Лаборатории Oak Ridge Национальной. CNMS на Лаборатории Oak Ridge Национальной (ORNL) Министерство Энергетики/Офис Исследовательскийа Центр Науки Nanoscale Науки (NSRC).

Неоновый луч иона предлагает точные возможности подвергать механической обработке и nanofabrication должные более высоко для того чтобы sputter выходы в луче иона филируя и более быстро сопротивлять выдержка в литографировании луча иона. Луч иона гелия позволяет nanofabrication sub-10 nm так же, как высокой возможности воображения разрешения в такой же аппаратуре. Опционная современная колонка FIB галлия позволяет массивнейшему материальному удалению. Это делает ОРИОНОМ NanoFab самую разностороннюю платформу nanofabrication и воображения доступную.

«Я окончательно находил система что Я искал прошлые 5 лет,» говорю Др. Qianjin Wang от Физического Факультета на Университете Нанкина в Китае. «Как пользователь FIB галлия на за 10 лет, Я чувствую удачливейшим что Я нахожусь на передовой линии витка в nanoworld по мере того как Я фокусирую на моем исследовании на оптически свойствах искусственних структур nanoscale.»

«Мы очень excited о всех аспектах ОРИОНА NanoFab.» говорит Майкл Phaneuf, Президент Fibics Включил, строительная компания применений FIB/SEM установленная в Оттаве, Канаде в 1997. «Развитие к этому инструменту гели-неон-галлия поколения поистине импрессивно. Возможности для nanofabrication multi-маштаба совмещая все 3 луча поистине замечательны, и применения включая высокое воображение разрешения с гелием и неоном только теперь начинают быть осуществлянным. Мы полны страстного желания к развитию применений старта на этой платформе, и видим где она водит.»

Last Update: 17. September 2012 18:24

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit