Posted in | Nanofabrication

SPTS Вводит Низкотемпературное Разрешение PECVD для Упаковывая Применений 3D-IC

Published on September 21, 2012 at 3:55 AM

Волей Soutter

Технологии SPTS, компания которая обеспечивает вафлю обрабатывая разрешения глобально для полупроводника упаковывая, MEMS, рынки прибора управления силы и такие родственные рынки, вводили разрешение низложения химического пара низкой температуры (PECVD) плазм-увеличенное которое адресует вопросы внутри через-показывает запассивированность или столб-через кремний через (TSV) обрабатывать в упаковывать интегральных схема 3D.

Разрешение SPTS PECVD для Низкой Температуры 3D-IC

Обозначил систему fxP PECVD Перепада, разрешение уже доказывает свое представление в объеме продукции 300 mm изготовления. Система PECVD демонстрирует объём дважды та из существующих систем пока депозируя слои диэлектрика на вафли скрепили к несущим на температурах чем 2000C.

Через-Покажите или вывесьте обрабатывать TSV который унесенные последующие к образованию TSV включает утончать задней стороны вафель скрепленных временно к несущей для того чтобы показать vias. Сортучивание нитрида и окиси кремния использовано для запассивированности через подсказок и после этого подвергано к металлизированию перераспределения.

Процесс PECVD однако смотрит на 2 возможности вследствие временного выпуска облигаций между вафлей и несущей. Первое одно поставка определенных характеристик запассивированности на температурах вафли под 2000C необходимым, что вытерпел временное скрепление. Второй вопрос препятствие к качеству растущего фильма PECVD приводящ к от дегазации прилипателя выпуска облигаций внутри камеры вакуума PECVD. Система fxP Перепада использует новаторские разрешения процесса и оборудования начатые STPS для того чтобы депозировать окиси и нитриды TEOS, котор характеризует высоким пробивным напряжением или низким течением утечки под низкими температурами вафли. Интегрированная Multi-Вафля Degas серии использована для того чтобы адресовать вопрос дегазации. Урожайность увеличена вафлями дегазации множественными одновременно.

Источник: http://www.spts.com/

Last Update: 21. September 2012 04:19

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit