Posted in | Nanofabrication

SPTS Introducerar Låg-Temperaturen PECVD Lösningen för 3D-IC som Paketerar Applikationer

Published on September 21, 2012 at 3:55 AM

Vid Ska Soutter

SPTS-Teknologier, företaget, som ger rånet som globalt bearbetar lösningar för halvledaren som paketerar, MEMS, driver ledning som apparaten marknadsför, och sådan släkt marknadsför, har introducerat för dunstavlagring för låg temperatur enförhöjd kemisk (PECVD) lösning, som tilltalar utfärdar via-avslöjer in passivation eller posta-till och med silikoner via (TSV) att bearbeta, i att paketera av integrerad 3D - går runt.

Lösning för SPTS PECVD för den Låga Temperaturen 3D-IC

Märkte systemet för DeltafxP PECVD, lösningen har redan bevisat dess kapacitet i volymproduktion av fabriceringen för en mm 300. PECVD-systemet visar genomgångar två gånger det av existerande systemstunder som sätter in dielectric lagrar på rån som är obligations- till bärare på temperaturer mindre än 2000C.

Via-Avslöj eller posta att bearbeta för TSV som är buret ut följande till bildandet av TSV gäller det glesnande av baken av rån som är obligations- tillfälligt till en bärare för att avslöja viasna. En amalgamation av den silikonnitriden och oxiden används för passivation av via spetsar och betvingas därefter till redistributionmetallization.

Den processaa PECVDEN vänder mot emellertid två utmaningar som varar skyldig till den tillfälliga bindningen mellan rånet och bäraren. Första är leveransen av specificerade passivationkännetecken på råntemperaturer nedanför 2000C som är nödvändiga att tåla den tillfälliga förbindelsen. Understödja utfärdar är hindrar till det kvalitets- av den växande PECVDEN filmar att resultera från ut-att gasa av den adhesive insidan för bindningen som PECVDNA dammsuger kammaren. DeltafxPsystemet använder det innovativt bearbetar och maskinvarulösningar som framkallas av STPS för att sätta in TEOS-oxider och nitrides som karakteriseras av kicksammanbrottspänning eller den låga läckageströmmen under låga råntemperaturer. Ett inbyggt grupperar Mång--Rånet Degas är van vid tilltalar ut-gasa utfärdar. Produktivitet förhöjs av ut-gasa multipelrån samtidigt.

Källa: http://www.spts.com/

Last Update: 21. September 2012 04:20

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit