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Il hynix della SK Partners con SEMATCEH per lo Sviluppo dell'Infrastruttura della Maschera di EUVL

Published on September 21, 2012 at 3:57 AM

Dalla Volontà Soutter

Il hynix della SK, un fornitore globale delle unità di memoria compreso i chip di memoria flash ed i chip di memoria dinamica a accesso casuale (DRAMs), ha preso parte all'associazione ultravioletta estrema dell'infrastruttura della maschera della litografia (EUVL (EMI)) di SEMATECH basato all'Istituto Universitario di Scienza di Nanoscale e di Assistenza Tecnica (CNSE) dell'Università a Albany.

SEMATECH è l'associazione globale dei produttori delle unità e delle attrezzature a semiconduttore. La EMI è stata lanciata nel 2010 da SEMATECH per colmare le lacune critiche dell'infrastruttura per la litografia di EUV specialmente nel regno della metrologia della maschera. Il consorzio fornisce il finanziamento necessario per lo sviluppo degli strumenti della metrologia che sono reputati troppo costosi affinchè le diverse società si sviluppino da sè. Gli strumenti della metrologia sono essenziali per l'identificazione ed analizzare dei difetti presenti nelle maschere richieste per EUVL. La collaborazione di EMI permette ai membri partecipanti di dividere i dati critici e di effettuare l'analisi cruciale per sviluppare gli strumenti adatti della metrologia.

SEMATECH in collaborazione con Carl Zeiss sta aprendo la strada al sistema aereo attinico mai visto della metrologia (AIMS) EUV di immagine nell'industria che faciliterà la produzione in volume di EUVL. Lo strumento è importante per la produzione delle maschere di EUVL senza i difetti. Lo strumento di OBIETTIVI EUV è destinato per essere compatibile con i requisiti di vertice di mezza tecnologia del passo di 16 nanometro e può essere esteso per servire le generazioni future di vertici di fabbricazione a semiconduttore. La prima versione dello strumento adatta a produzione è preveduta per essere completata da ora alla metà del 2014.

Sungjoo Hong, Vicepresidente Senior e Direttore della Divisione di R & S del hynix della SK, specificata che la sua società pensa svolgere un ruolo vitale nell'accelerazione della commercializzazione della tecnologia di EUV estendendo il suo supporto verso il bene immobile degli strumenti cruciali della metrologia.

Sorgente: http://www.sematech.org/

Last Update: 21. September 2012 14:55

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