Posted in | Nanolithography

SK hynix Partners met SEMATCEH voor Ontwikkeling van de Infrastructuur van het Masker EUVL

Published on September 21, 2012 at 3:57 AM

Door Zal Soutter

SK hynix, een globale leverancier van geheugenapparaten met inbegrip van de spaanders van het flitsgeheugen en de dynamische spaanders van het directe toeganggeheugen (Borrels) zijn, in het extreme de infrastructuurvennootschap van het ultraviolette lithografie (EUVL) masker (EMI) van SEMATECH dat bij de Universiteit van Wetenschap Nanoscale en Techniek (CNSE) wordt gebaseerd van de Universiteit in Albany binnengegaan.

SEMATECH is de globale vereniging van fabrikanten van halfgeleiderapparaten en apparatuur. EMI werd gelanceerd door SEMATECH in 2010 om de kritieke infrastructuurhiaten te overbruggen voor lithografie EUV in het bijzonder in het koninkrijk van maskermetrologie. Het consortium verstrekt de noodzakelijke financiering voor ontwikkeling van metrologiehulpmiddelen die te voor individuele bedrijven duur worden geacht om zich op hun te ontwikkelen. De metrologiehulpmiddelen zijn essentieel voor het identificeren van en het analyseren van tekorten huidig in maskers die voor EUVL worden vereist. De EMI samenwerking laat de deelnemende leden toe om kritieke gegevens te delen en essentiële analyse uit te voeren voor het ontwikkelen van geschikte metrologiehulpmiddelen.

SEMATECH in samenwerking met Carl Zeiss bereidt het allereerstee actinische luchtsysteem van de beeld (AIMS)metrologie EUV in de industrie de weg die volumeproductie van EUVL zal vergemakkelijken. Het hulpmiddel is belangrijk voor de productie van maskers EUVL zonder tekorten. Het hulpmiddel van DOELSTELLINGEN wordt EUV ontworpen compatibel om met knoopvereisten van technologie van de 16 NM de halve hoogte te zijn en kan worden uitgebreid om toekomstige generaties van halfgeleider productieknopen te dienen. De eerste versie van het hulpmiddel geschikt voor productie is gepland om door medio 2014 worden voltooid.

Sungjoo Hong, de Hogere Ondervoorzitter en het Hoofd van de Afdeling van R&D van SK hynix, verklaarden dat zijn bedrijf denkt om een essentiële rol te spelen in het verzenden van de introductie op de markt van technologie EUV door zijn steun uit te breiden naar de bouw van essentiële metrologiehulpmiddelen.

Bron: http://www.sematech.org/

Last Update: 21. September 2012 14:54

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit