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O hynix da SK Partners com o SEMATCEH para a Revelação da Infra-estrutura da Máscara de EUVL

Published on September 21, 2012 at 3:57 AM

Pela Vontade Soutter

O hynix da SK, um fornecedor global dos dispositivos de memória que incluem microplaquetas de memória Flash e chip de memória de acesso aleatório dinâmicos (Goles), participou na parceria ultravioleta extrema da infra-estrutura da máscara da litografia (EUVL (EMI)) de SEMATECH baseado na Faculdade da Ciência e do Planejamento de Nanoscale (CNSE) da Universidade em Albany.

SEMATECH é a associação global dos fabricantes de dispositivos e de equipamento de semicondutor. O IEM foi lançado por SEMATECH em 2010 para construir uma ponte sobre particularmente as diferenças críticas da infra-estrutura para a litografia de EUV no reino da metrologia da máscara. O consórcio fornece o financiamento necessário para a revelação das ferramentas da metrologia que são julgadas demasiado caras para que as empresas individuais se tornem no seus próprios. As ferramentas da metrologia são essenciais para identificar e analisar os defeitos actuais nas máscaras exigidas para EUVL. A colaboração do IEM permite os membros de participação de compartilhar de dados críticos e de realizar a análise crucial para desenvolver ferramentas apropriadas da metrologia.

SEMATECH em colaboração com Carl Zeiss está abrindo caminho o primeiro-nunca sistema aéreo actínico da metrologia (AIMS) EUV da imagem na indústria que facilitará a produção de volume de EUVL. A ferramenta é importante para a produção de máscaras de EUVL sem defeitos. A ferramenta dos ALVOS EUV é projectada ser compatível com exigências do nó tecnologia do passo de 16 nanômetro da meia e pode ser estendida às futuras gerações do saque de nós da fabricação do semicondutor. A primeira versão da ferramenta apropriada para a produção é programada para ser terminada em meados de 2014.

Sungjoo Hong, Vice-presidente Superior e Cabeça da Divisão do R&D do hynix da SK, indicada que sua empresa espera jogar um papel vital em apressar a comercialização da tecnologia de EUV estendendo seu apoio para a construção de ferramentas cruciais da metrologia.

Source: http://www.sematech.org/

Last Update: 21. September 2012 14:56

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