Posted in | Nanolithography

Hynix SK Будет Партнером с SEMATCEH для Развития Инфраструктуры Маски EUVL

Published on September 21, 2012 at 3:57 AM

Волей Soutter

Hynix SK, глобальный поставщик приборов памяти включая обломоки флэш-память и динамическое оперативное запоминающее устройство откалывают (Драхмы), включались в весьма ультрафиолетов партнерство инфраструктуры маски литографированием (EUVL (EMI)) SEMATECH основанного на Коллеже Науки Nanoscale и Инджиниринга (CNSE) Университета на Albany.

SEMATECH глобальная ассоциация изготовлений полупроводниковых устройств и оборудования. EMI был запущен SEMATECH в 2010 для того чтобы навести критические зазоры инфраструктуры для литографирования EUV в частности в области метрологии маски. Консорциум обеспечивает необходимое финансирование для развития инструментов метрологии которые посчитаны слишком дорогим для индивидуальных компаний превратиться на их. Инструменты метрологии необходимы для определять и анализировать дефекты присутствующие в масках необходимы для EUVL. Сотрудничество EMI позволяет участвуя члены делить критические данные и уносить критический анализ для развивать соответствующие инструменты метрологии.

SEMATECH в сотрудничестве с Карл Zeiss pioneering впервые в жизни актиничная воздушная система метрологии (AIMS) EUV изображения в индустрии которая облегчит объем продукции EUVL. Инструмент важен для продукции маск EUVL sans дефекты. Инструмент ЦЕЛЕЙ EUV конструирован для того чтобы быть совместим с требованиями к узла технологии тангажа 16 nm половинной и может быть удлинен к будущим поколениям подачи узлов изготавливания полупроводника. Версия инструмента первая соответствующая для продукции запланирована быть завершенным к среднее 2014.

Sungjoo Hong, Старший Вице-Президент и Головка Разделения R&D hynix SK, заявило что его компания рассчитывает сыграть существенную роль в быстро проходить коммерциализация технологии EUV путем удлинять свою поддержку к зданию критических инструментов метрологии.

Источник: http://www.sematech.org/

Last Update: 21. September 2012 14:56

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit