Posted in | Nanolithography

SK-hynixPartners med SEMATCEH för EUVL Maskerar InfrastrukturUtveckling

Published on September 21, 2012 at 3:57 AM

Vid Ska Soutter

SK-hynix, en global leverantör av pråliga minnet för minnesapparater det däribland gå i flisor, och dynamiskt slumpmässigt tar fram minne gå i flisor (Sup), har skrivit in in i ytterligheten som ultraviolett lithography (EUVL) maskerar infrastruktur (EMI)partnerskap av SEMATECH som baseras på Högskolan av Nanoscale Vetenskap och att Iscensätta (CNSE) av Universitetar på Albany.

SEMATECH är den globala anslutningen av producenter av halvledareapparater och utrustning. EMIEN lanserades av SEMATECH i 2010 för att överbrygga de kritiska infrastrukturmellanrummen för EUV-lithography bestämt i sfären av maskerar metrology. Konsortiet ger den nödvändiga finansieringen för utveckling av metrology bearbetar som ansas för dyra för att individföretag ska framkalla på deras eget. Metrologyen bearbetar är nödvändig för att identifiera, och analysering hoppar av gåva maskerar in krävt för EUVL. EMI-samarbetet möjliggör deltagandemedlemmarna för att dela kritiska data, och att bära ut avgörande analys för framkallning av passande metrology bearbetar.

SEMATECH i samarbete med Carl Zeiss bana väg för den första-någonsin actinic antennen avbildar systemet (AIMS) för metrology EUV i branschen som ska gör volymproduktion av EUVL lättare. Bearbeta är viktig EUVL maskerar för tillverkning av sans hoppar av. SYFTENA EUV bearbetar planläggs att vara kompatibla med knutpunktkrav av halv gradteknologi för 16 nm och kan fördjupas till framtida utvecklingar för serven av fabriks- knutpunkter för halvledaren. Hjälpmedlets första version som är passande för produktion, är planlagd att avslutas vid mitt- 2014.

Sungjoo Hong, Vice verkställande direktör och Huvudet av R&D-Uppdelningen av SK-hynix, påstod att hans företag förväntar att leka en livsviktig roll, i att rusa commercializationen av EUV-teknologi, genom att fördjupa dess service in mot byggnaden av avgörande metrology bearbetar.

Källa: http://www.sematech.org/

Last Update: 21. September 2012 14:56

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit