Energetiq-Technologie Beendet Produkt-Freigabe-Programm für EQ-10HP 20-Watt EUV Lichtquelle

Published on September 25, 2012 at 6:16 AM

Durch Willen Soutter

Energetiq-Technologie, eine Firma, die fachkundige Ultrahoch-helligkeit Lichtquellen für hoch entwickelte Technologieanwendungen entwickelt und produziert, hat die Fertigstellung seines Produkteinführungsprogramms für eine neue 20 Lichtquelle W EUV angekündigt, die das EQ-10HP genannt wird.

Lichtquelle Energetiq EQ-10HP 20-Watt EUV

Das 6. Gerät Energetiq-Technologie für Gebrauch in EUV-Masken' aktinische Inspektionsanwendungen wird für Versand in Q4 von 2012 geplant. Die Firma hat seine Herrschaft als Schlüsselanbieter von stabilen, zuverlässigen und wirtschaftlichen EUV-Quellen durch seine Serie EQ-10 geprüft, die als die Quelle des Arbeitspferdes EUV für EUV-Inspektions- und -metrologieanwendungen erkannt wird. Mit der Produkteinführung seines neuen EQ-10HP, hat die Firma seine Führung ausgedehnt, indem sie hohe Stromversorgung 20-W der EUV-Gemeinschaft anbot, die aktinische Maskeninspektionsprodukte macht.

Die EQ-10HP EUV Lichtquellen sind in den EUV-Masken-Inspektionszwecken für ein vorbei Jahr verwendet worden. Am Jahresende werden sechs EQ-10HP Geräte vorweggenommen, an den Kundenseiten über der Welt entbunden zu werden und ausgefahren zu werden. Die EQ-10HP EUV Lichtquelle arbeitet an der beträchtlich höheren Eingangsleistung, wenn sie mit seinen Vorgängern in der Serie EQ-10 verglichen wird, und stellt 20-W Inband-EUV in Sterarde 2pi zur Verfügung. Der Lichtquelle, die, stabilen, induktiv-gesteuerten Plasmas klein ist, macht es geeignet für EUV-Prüfung und Maßanwendungen. Sie kann in ein Prozesshilfsmittel, dank leicht integriert werden seine Modularbauweise. Sie kennzeichnet Energetiqs patentierte Electrodeless-Z-Klemmequelleinheit, Steuerelektronik, Leistungslieferungsteilsystem und Vakuum- und Gasteilsysteme.

Nach Ansicht des Vizepräsidenten Energetiq-Technologie von Verkäufen und von Marketing, hat Debbie Gustafson, die Firma diese Lichtquelle der hohen Leistung EUV vorgestellt, um die Anforderungen seiner Abnehmer in den Vereinigten Staaten, im Europa und im Asien zu erfüllen. Durch die Fertigstellung seines Produktfreigabeprogramms für das EQ-10HP, wird die Firma ausgerüstet, um erhöhte Nachfrage als EUV-Lithographie-Risiken in die Produktionsphase zu befriedigen.

Quelle: http://www.energetiq.com

Last Update: 25. September 2012 08:07

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