La Tecnología de Energetiq Termina el Programa del Desbloquear de Producto para la Fuente De Luz de EQ-10HP 20-Watt EUV

Published on September 25, 2012 at 6:16 AM

Por la Voluntad Soutter

La Tecnología de Energetiq, compañía que desarrolla y produce las fuentes de luz especializadas de la ultraalto-brillantez para las aplicaciones sofisticadas de la tecnología, ha anunciado la realización de su programa de la introducción de productos para una nueva 20 fuente de luz de W EUV llamada el EQ-10HP.

Fuente De Luz De Energetiq EQ-10HP 20-Watt EUV

Unidad de la Tecnología de Energetiq la sexta para el uso en aplicaciones actínicas del examen de las máscaras de EUV las' slated para la remesa en Q4 de 2012. La compañía ha probado su dominación como proveedor dominante de las fuentes constantes, seguras y rentables de EUV con su Serie EQ-10, que se reconoce como la fuente del caballo de labranza EUV para las aplicaciones del examen y de la metrología de EUV. Con el lanzamiento de su nuevo EQ-10HP, la compañía ha ampliado su liderazgo ofreciendo altas fuentes de energía 20-W a la comunidad de EUV que hacía productos actínicos del examen de la máscara.

Las fuentes de luz de EQ-10HP EUV se han utilizado en los propósitos del examen de la máscara de EUV por encima un año. A finales de este año, seis unidades de EQ-10HP se anticipan para ser entregadas y para ser desplegadas en los sitios de cliente a través del mundo. La fuente de luz de EQ-10HP EUV trabaja en una energía de entrada considerablemente más alta cuando está comparada a sus precursores en la Serie EQ-10, y proporciona 20-W a la en-banda EUV en los estereorradianes 2pi. La fuente de luz minúscula, plasma constante, inductivo-impulsada hace conveniente para la prueba de EUV y las aplicaciones de la medición. Puede ser integrada fácilmente en una herramienta de proceso, gracias a su diseño modular. Ofrece el ensamblaje de la fuente del Z-Pellizco de Electrodeless de Energetiq, la electrónica de mando, el subsistema de la salida de potencia, y subsistemas patentados del vacío y del gas.

Según el Vicepresidente de la Tecnología de Energetiq de Ventas y del Márketing, Debbie Gustafson, la compañía ha introducido esta fuente de luz del poder más elevado EUV para satisfacer los requisitos de sus clientes en los Estados Unidos, la Europa y la Asia. Con la realización de su programa del desbloquear de producto para el EQ-10HP, equipan a la compañía para cubrir demanda creciente como empresas de la litografía de EUV en la fase de producción.

Fuente: http://www.energetiq.com

Last Update: 25. September 2012 08:08

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