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La Tecnologia di Energetiq Completa il Programma della Versione di Prodotto per la Sorgente Luminosa di EQ-10HP 20-Watt EUV

Published on September 25, 2012 at 6:16 AM

Dalla Volontà Soutter

La Tecnologia di Energetiq, una società che sviluppa e produce le sorgenti luminose specializzate di ultraelevato-luminosità per le applicazioni specializzate della tecnologia, ha annunciato il completamento del suo programma dell'introduzione di prodotto per una nuova 20 sorgente luminosa di W EUV chiamata il EQ-10HP.

Sorgente Luminosa Di Energetiq EQ-10HP 20-Watt EUV

Unità della Tecnologia di Energetiq la sesta per uso le applicazioni attiniche di ispezione nelle maschere di EUV' slated per la spedizione in Q4 di 2012. La società ha provato la sua dominanza come fornitore chiave delle sorgenti costanti, affidabili e costo-efficienti di EUV con la sua Serie EQ-10, che è riconosciuta come la sorgente del cavallo di lavoro EUV per le applicazioni di ispezione e della metrologia di EUV. Con il lancio del suo nuovo EQ-10HP, la società ha esteso la sua direzione offrendo le alte alimentazioni 20-W alla comunità di EUV che fa i prodotti attinici di ispezione della maschera.

Le sorgenti luminose di EQ-10HP EUV sono state utilizzate negli scopi di ispezione della maschera di EUV per più un anno. Entro la fine di questo anno, sei unità di EQ-10HP sono prevedute per essere consegnate e per spiegate ai siti di cliente attraverso il mondo. La sorgente luminosa di EQ-10HP EUV funziona ad alimentazione in ingresso di entrata considerevolmente più alta una volta confrontata ai sui predecessori in Serie EQ-10 e fornisce 20-W la in-banda EUV negli steradianti 2pi. La sorgente luminosa minuscola, da plasma costante e guidato da induttiva lo rende adatto a prova di EUV e ad applicazioni di misura. Può essere integrata facilmente in uno strumento trattato, grazie alla sua progettazione modulare. Caratterizza l'assembly di sorgente di Z-Pizzico del Electrodeless di Energetiq, l'elettronica di controllo, il sottosistema di fornitura di energia ed i sottosistemi brevettati del gas e di vuoto.

Secondo il Vicepresidente della Tecnologia di Energetiq delle Vendite e dell'Introduzione Sul Mercato, Debbie Gustafson, la società ha introdotto questa sorgente luminosa di alto potere EUV per soddisfare le condizioni dei sui clienti negli Stati Uniti, l'Europa ed in Asia. Con il completamento del suo programma della versione di prodotto per il EQ-10HP, la società è fornita per rispondere all'esigenza aumentata come imprese della litografia di EUV nella fase di produzione.

Sorgente: http://www.energetiq.com

Last Update: 25. September 2012 08:07

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