Energetiq の技術は EQ-10HP の 20 ワット EUV の光源のための製品の発売プログラムを完了します

Published on September 25, 2012 at 6:16 AM

意志 Soutter によって

Energetiq の技術、洗練された技術アプリケーションのための専門にされた超高度明るさの光源を開発し、作り出す会社は、 EQ-10HP と呼出される新しい 20 W EUV の光源のための製品紹介プログラムの完了を発表しました。

Energetiq EQ-10HP の 20 ワット EUV の光源

EUV マスクのの使用のための Energetiq の技術の第 6 単位は」 2012 年の Q4 の郵送物の actinic 点検アプリケーション候補になります。 会社は EUV の点検および度量衡学アプリケーションのための役馬 EUV ソースとして認識される EQ-10 シリーズによって安定した、信頼でき、そしてコスト効率が高い EUV ソースの主提供者として優勢を証明しました。 新しい EQ-10HP の進水によって、会社は actinic マスクの点検製品を作っている EUV のコミュニティに高い 20-W 電力源を提供することによってリーダーシップを拡張しました。

EQ-10HP EUV の光源は 1 年以上 EUV マスクの点検目的で使用されました。 今年中に、 6 つの EQ-10HP の単位は世界を渡るカスタマ・サイトで提供され、配置されるために予想されます。 EQ-10HP EUV の光源はかなりより高い入力パワーで EQ-10 シリーズの前任者と比較されたとき働き、 2pi ステラジアンに 20-W インバンド EUV を提供します。 、安定した小さい、光源誘導主導の血しょうはそれを EUV のテストおよび測定アプリケーションのために適したようにします。 それはプロセスツール、モジューラ設計のおかげでに容易に統合することができます。 それは Energetiq の特許を取られた Electrodeless の Z ピンチソースアセンブリ、制御電子回路、力配達サブシステムおよび真空およびガスサブシステムを特色にします。

Energetiq の技術の販売およびマーケティングの副大統領に従って、デビー Gustafson は、会社米国、ヨーロッパおよびアジアの顧客の条件を達成するためにこの高い発電 EUV の光源をもたらしました。 EQ-10HP のための製品の発売プログラムの完了によって生産段階に EUV の石版印刷の投機として増加する需要に応じるために、会社は装備されています。

ソース: http://www.energetiq.com

Last Update: 25. September 2012 08:07

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