Energetiq 기술은 EQ-10HP 20 와트 EUV 광원을 위한 제품 발매 프로그램을 완료합니다

Published on September 25, 2012 at 6:16 AM

의지 Soutter에 의하여

Energetiq 기술, 정교한 기술 응용을 위한 전문화한 극초단파 광도 광원을 개발하고 일으키는 회사는, EQ-10HP이라고 칭한 새로운 20 W EUV 광원을 위한 그것의 제품 소개 프로그램의 완료를 알렸습니다.

Energetiq EQ-10HP 20 와트 EUV 광원

EUV 가면에 있는 사용을 위한 Energetiq 기술의 여섯 번째 부대는' 2012년의 Q4에 있는 선적으로 화학선 검사 응용 예정됩니다. 회사는 EUV 검사와 도량형학 응용을 위한 사역마 EUV 근원으로 인식되는 그것의 EQ-10 시리즈를 통해 꾸준하고, 믿을 수 있는 비용 효율적인 EUV 근원의 중요한 공급자로 그것의 우성을 증명했습니다. 그것의 새로운 EQ-10HP의 발사로, 회사는 화학선 가면 검사 제품을 만들어 EUV 지역 사회에게 높은 20-W 전원을 제안해서 그것의 지도력을 확장했습니다.

EQ-10HP EUV 광원은 넘어서 년간 EUV 가면 검사 목적에서 사용되었습니다. 올해 말까지, 6개의 EQ-10HP 부대는 세계를 통해 고객 사이트에 전달되고 배치되기 위하여 예기됩니다. EQ-10HP EUV 광원은 상당히 더 높은 입력 파워에 EQ-10 시리즈에 있는 그것의 전임자에 비교될 때 작동하고, 2pi 스테라디안으로 20-W 대역내 EUV를 제공합니다. , 꾸준한 작은, 광원 유도 몬 플라스마는 EUV 테스트와 측정 응용을 위해 적당한 만듭니다. 그것은 가공 공구, 그것의 모듈 디자인에게 감사로 쉽게 통합될 수 있습니다. 그것은 Energetiq의 특허가 주어진 Electrodeless Z 꼬집음 근원 집합, 통제 전자공학, 힘 납품 하위 시스템 및 진공과 가스 하위 시스템을 특색짓습니다.

Energetiq 기술의 판매와 매매의 부사장에 따르면, Debbie Gustafson는, 회사 이 고성능 EUV 미국, 유럽 및 아시아에 있는 그것의 고객의 필수품을 성취하기 위하여 광원을 소개했습니다. EQ-10HP를 위한 그것의 제품 발매 프로그램의 완료를 통해, 회사는 생산 단계로 EUV 석판인쇄술 합작으로 수요 증가를 충족시키기 위하여 갖춰집니다.

근원: http://www.energetiq.com

Last Update: 25. September 2012 08:07

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