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A Tecnologia de Energetiq Termina o Programa da Liberação de Produto para EQ-10HP 20-Watt EUV Fonte Luminosa

Published on September 25, 2012 at 6:16 AM

Pela Vontade Soutter

A Tecnologia de Energetiq, uma empresa que desenvolvesse e produzisse fontes luminosas especializadas do ultrahigh-brilho para aplicações sofisticadas da tecnologia, anunciou a conclusão de seu programa da introdução de produto para 20 uma fonte luminosa nova de W EUV chamada o EQ-10HP.

Energetiq EQ-10HP 20-Watt EUV Fonte Luminosa

Unidade da Tecnologia de Energetiq a sexta para o uso aplicações actínicas da inspecção nas máscaras de EUV' slated para a expedição em Q4 de 2012. A empresa provou seu domínio como um fornecedor chave de fontes constantes, seguras e rentáveis de EUV com sua Série EQ-10, que é reconhecida como a fonte do laborioso EUV para aplicações da inspecção e da metrologia de EUV. Com o lançamento de seu EQ-10HP novo, a empresa estendeu sua liderança oferecendo as fontes de energia 20-W altas à comunidade de EUV que faz produtos actínicos da inspecção da máscara.

As fontes luminosas de EQ-10HP EUV foram usadas em finalidades da inspecção da máscara de EUV por sobre um ano. Até o final deste ano, seis unidades de EQ-10HP são antecipadas para ser entregadas e distribuído em locais de cliente através do mundo. A fonte luminosa de EQ-10HP EUV trabalha em uma potência de entrada consideravelmente mais alta quando comparada a seus antecessores na Série EQ-10, e fornece 20-W a em-faixa EUV nos steradians 2pi. A fonte luminosa minúscula, plasma constante, indutivo-conduzido faz apropriado para o teste de EUV e as aplicações da medida. Pode facilmente ser integrada em uma ferramenta do processo, agradecimentos a seu projecto modular. Caracteriza o conjunto da fonte da Z-Pitada do Electrodeless de Energetiq, a eletrônica de controle, o subsistema da entrega de potência, e subsistemas patenteados do vácuo e do gás.

De acordo com o Vice-presidente da Tecnologia de Energetiq das Vendas e do Mercado, Debbie Gustafson, a empresa introduziu esta fonte luminosa do poder superior EUV para cumprir as exigências de seus clientes nos Estados Unidos, na Europa e na Ásia. Com a conclusão de seu programa da liberação de produto para o EQ-10HP, a empresa é equipada para encontrar o aumento da procura como riscos da litografia de EUV na fase de produção.

Source: http://www.energetiq.com

Last Update: 25. September 2012 08:08

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