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Energetiq 技術完成 EQ-10HP 20 瓦特 EUV 光源的產品推廣程序

Published on September 25, 2012 at 6:16 AM

由意志 Soutter

Energetiq 技術,開發并且導致複雜的技術應用的專門化的超離頻亮光光源的公司,宣佈了其稱 EQ-10HP 的新的 20 个 W EUV 光源的產品介紹程序的完成。

Energetiq EQ-10HP 20 瓦特 EUV 光源

Energetiq 技術的第六個部件用於 EUV 屏蔽』光化檢驗應用指定為在 Q4 的發運 2012年。 這家公司證明其優勢作為平穩,可靠和高消費的 EUV 來源一位關鍵提供者通過其 EQ-10 串聯,被認可作為 EUV 檢驗和計量學應用的耕馬 EUV 來源。 其新的 EQ-10HP 生成,這家公司通過提供高 20-W 電源擴大了其領導為做光化屏蔽檢驗產品的 EUV 社區。

EQ-10HP EUV 光源用於 EUV 屏蔽檢驗目的一年。 今年底以前,六個 EQ-10HP 部件期望在這個世界的客戶地點被提供和部署。 EQ-10HP EUV 光源運作在顯著地更高的輸入功率,當與其 EQ-10 串聯的前輩比較,并且提供 20-W 同帶信號傳輸 EUV 到 2pi 球面角度。 微小這個的光源的,平穩,引人主導的等離子使適用於 EUV 測試和評定應用。 它可以容易地集成處理工具,由於其模塊設計。 它以 Energetiq 的給予專利的 Electrodeless Z 困苦來源集合、控制電子學、功率傳輸子系統和真空和氣體子系統為特色。

根據 Energetiq 銷售額和市場營銷的技術的副總裁,德比 Gustafson,這家公司在美國、歐洲和亞洲引入此大功率 EUV 光源執行其客戶的需求。 通過其 EQ-10HP 的產品推廣程序的完成,這家公司被裝備適應增長的需要作為 EUV 石版印刷事業到生產階段。

來源: http://www.energetiq.com

Last Update: 25. September 2012 08:06

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